[實用新型]一種芯片貼膜底盤固定工裝有效
| 申請號: | 201720572671.4 | 申請日: | 2017-05-22 |
| 公開(公告)號: | CN207282459U | 公開(公告)日: | 2018-04-27 |
| 發明(設計)人: | 陳浩平;王小波;方敏;吳浩棟;解小龍 | 申請(專利權)人: | 無錫芯坤電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 214000 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 底盤 固定 工裝 | ||
1.一種芯片貼膜底盤固定工裝,包括芯片托盤(1),其特征在于:所述芯片托盤(1)下端設有底托(2),所述底托(2)側邊固定連接有定位銷(3),所述定位銷(3)一側設有防呆定位銷(11),所述防呆定位銷(11)固定連接于芯片托盤(1),所述芯片托盤(1)一側貫穿連接有與定位銷(3)和防呆定位銷(11)相匹配的定位孔(4),所述底托(2)中間嵌有與芯片托盤(1)相匹配的限位槽(5),所述限位槽(5)一側設有手位凹槽(6),所述底托(2)下端連接有固定板(7),所述固定板(7)側邊設有限位凸起(8),所述固定板(7)底部貫穿連接還有導向孔(9),所述導向孔(9)一側布有定位孔(4),所述定位孔(4)貫穿連接于固定板(7)。
2.根據權利要求1所述的一種芯片貼膜底盤固定工裝,其特征在于:所述底托(2)至少為規格相同的三組,且底托(2)之間間距相同。
3.根據權利要求1所述的一種芯片貼膜底盤固定工裝,其特征在于:所述手位凹槽(6)位于底托(2)中間位置,且手位凹槽(6)低于限位槽(5)。
4.根據權利要求1所述的一種芯片貼膜底盤固定工裝,其特征在于:所述定位孔(4)為對稱設置的四組,所述導向孔(9)位于四組定位孔(4)的中心位置。
5.根據權利要求1所述的一種芯片貼膜底盤固定工裝,其特征在于:所述定位銷(3)和防呆定位銷(11)下端貫穿連接于固定板(7),且上端高度與芯片托盤(1)放入底托(2)后的高度持平。
6.根據權利要求1所述的一種芯片貼膜底盤固定工裝,其特征在于:所述定位銷(3)和防呆定位銷(11)規格相同,且定位銷(3)和防呆定位銷(11)的形狀為階梯型。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





