[實用新型]刀具表面連續鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201720560491.4
• 申請日: 2017-05-19
• 公開（公告）號: CN207331047U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 單永賢
• 申請（專利權）人: 上海金科納米涂層技術有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/56
• 代理公司: 上海天協和誠知識產權代理事務所 31216
• 代理人: 蔣晏雯

本實用新型涉及一種刀具表面連讀鍍膜裝置，包括成直線式連續排列的多個真空室；按照鍍膜工藝流程順序，所述的多個真空室依次為預處理室、鍍膜室、出樣室。三個真空室之間有插板閥系統可以實現真空室間的保持密封隔離與相通；個真空室在中心處都設置有卡簧裝置，是工件轉盤在此真空室的固定轉動中心，完成工藝流程。各個真空室內部的卡簧系統用于支撐工件支架和保持工作時旋轉，卡簧系統由真空室外電機控制旋轉，與電機的連接通過磁流體來保證密封效果。本實用新型具有鍍膜效果好，鍍膜效率高的特點，非常適宜于工業化生產。

技術領域

本實用新型涉及一種刀具表面鍍膜，具體的說是刀具表面連續鍍膜裝置。

背景技術

對于流水線鍍膜作業方式已經在鍍膜領域開始應用，特別是玻璃----太陽能玻璃鍍膜領域應用廣泛。但是刀具作為是一種結構復雜、非平面結構的基片，必須保證刀具表面360度鍍膜，所以，它的連續鍍膜裝置與常規涂覆平面的基片的鍍膜裝置有所區別。

目前刀具表面涂層技術主要以物理氣相沉積中的電弧離子鍍工藝為主。鍍膜的設備一般都是單一的真空室設備，無論是進口的設備還是國產設備都是以單一的真空度模室為主。因此，整個鍍膜的工藝流程包括刀具進樣。抽高低抽真空、初級加熱，二次加熱、靶材清潔、沉積過程只能在一個真空室內完成，因此，從加工時效、節約成本、鍍膜質量上考量該設備在實際生產應用中存在以下缺陷：

只有一個真空室，所以刀具涂層沉積前的預抽真空預加熱過程也在這個真空室內完成，耗時25min左右；與此同時，沉積涂層結束后，無輔助降溫手段，單一靠循環水來降溫的話，從400℃的真空溫度降到200℃的時間需要30min的時間，綜合起來，耗時55min以上；

由于只有一個真空室來完成諸多工藝流程，那么真空室的設計和結構就比較復雜，因此維護成本比較高；

由于只有一個真空室，那么整個工藝過程需要打開門門比較頻繁，真空室完全暴露在外部環境中，會造成該真空室的污染比較嚴重，包括對靶材的污染和沉積的涂層質量的影響比較大；

由于只有一個真空室，那么在刀具鍍膜時出現的意外狀況，比如刀具孔內油污污染等，也只能在這個真空室內通過真空計顯示的數值發現并通過降溫破真空來處理，所以，比較浪費財力和精力，大大降低了生產效率。類似這樣的狀況，如果能在鍍膜前就及時發現并且合理處置，就避免了資源和時間的浪費。

隨著真空高鍍膜領域中鍍膜技術的不斷革新，對鍍膜產品的質量要求和時效性要求也越來越高，因此，鍍膜生產/生產線也需要不斷的創新來滿足市場需求。

發明內容

本實用新型旨在克服現有技術的缺陷，提供一種刀具表面連續鍍膜裝置，刀具表面鍍膜效果好、整個鍍膜過程更高效節能。

為了解決上述技術問題，本實用新型是這樣實現的：

一種刀具表面連續鍍膜裝置，其特征在于：它包括兩組滑桿和至少三個真空室，分別為預處理室、鍍膜室和出樣室；

預處理室的外側為工件轉盤的進口，內側設有插板閥系統，預處理室的真空壁上安裝有加熱系統、底部設有抽真空系統以及進氣口；

鍍膜室的兩側分別設有插板閥系統，鍍膜室的真空壁上安裝有加熱系統和鍍膜靶材、底部設有抽真空系統以及進氣口；

出樣室的內側為插板閥系統，外側為工件轉盤的出口，出樣室的真空壁上安裝有冷卻系統、底部設有抽真空系統和進氣口；

三個真空室通過插板閥系統的開啟和關閉實現三個真空室間的密封隔離和密封相通，所述插板閥系統上均設有高溫密封系統；

兩組滑桿設于三個真空室內的底部并貫穿三個真空室，兩組滑桿的一端位于預處理室的進口并分別通過電機驅動，每個真空室的中心處均設有卡簧，工件轉盤底部中心穿過滑桿并通過滑桿的轉動帶動工件轉盤向前運動到卡簧位置，卡簧支撐工具轉盤并帶動其旋轉。