[實(shí)用新型]刀具表面連續(xù)鍍膜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720560491.4
• 申請(qǐng)日: 2017-05-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207331047U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 單永賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海金科納米涂層技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/32
• 分類號(hào): C23C14/32;C23C14/56
• 代理公司: 上海天協(xié)和誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31216
• 代理人: 蔣晏雯

1.一種刀具表面連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于：它包括兩組滑桿和至少三個(gè)真空室，分別為預(yù)處理室、鍍膜室和出樣室；

預(yù)處理室的外側(cè)為工件轉(zhuǎn)盤(pán)的進(jìn)口，內(nèi)側(cè)設(shè)有插板閥系統(tǒng)，預(yù)處理室的真空壁上安裝有加熱系統(tǒng)、底部設(shè)有抽真空系統(tǒng)以及進(jìn)氣口；

鍍膜室的兩側(cè)分別設(shè)有插板閥系統(tǒng)，鍍膜室的真空壁上安裝有加熱系統(tǒng)和鍍膜靶材、底部設(shè)有抽真空系統(tǒng)以及進(jìn)氣口；

出樣室的內(nèi)側(cè)為插板閥系統(tǒng)，外側(cè)為工件轉(zhuǎn)盤(pán)的出口，出樣室的真空壁上安裝有冷卻系統(tǒng)、底部設(shè)有抽真空系統(tǒng)和進(jìn)氣口；

三個(gè)真空室通過(guò)插板閥系統(tǒng)的開(kāi)啟和關(guān)閉實(shí)現(xiàn)三個(gè)真空室間的密封隔離和密封相通，所述插板閥系統(tǒng)上均設(shè)有高溫密封系統(tǒng)；

兩組滑桿設(shè)于三個(gè)真空室內(nèi)的底部并貫穿三個(gè)真空室，兩組滑桿的一端位于預(yù)處理室的進(jìn)口并分別通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，每個(gè)真空室的中心處均設(shè)有卡簧，工件轉(zhuǎn)盤(pán)底部中心穿過(guò)滑桿并通過(guò)滑桿的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)工件轉(zhuǎn)盤(pán)向前運(yùn)動(dòng)到卡簧位置，卡簧支撐工具轉(zhuǎn)盤(pán)并帶動(dòng)其旋轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刀具表面連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于：所述電機(jī)通過(guò)磁流體與預(yù)處理室的進(jìn)口處形成密封連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的刀具表面連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于：三個(gè)真空室底部的抽真空系統(tǒng)是單獨(dú)的三套抽真空系統(tǒng)或并聯(lián)的抽真空系統(tǒng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的刀具表面連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于：抽真空系統(tǒng)包括分子泵和機(jī)械泵以及空氣進(jìn)氣系統(tǒng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的刀具表面連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于：每個(gè)抽真空系統(tǒng)配有獨(dú)立的真空計(jì)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的刀具表面連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于：所述插板閥系統(tǒng)包括板閥、閥門(mén)開(kāi)關(guān)氣缸和閥板鎖緊機(jī)構(gòu)。