[實用新型]一種真空刻蝕用抽氣裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720550489.9
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN206947300U
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張惠琳
• 申請（專利權(quán)）人: 信豐福昌發(fā)電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 蘇州潤桐嘉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司32261
• 代理人: 趙麗麗

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及PCB板生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空刻蝕用抽氣裝置。

背景技術(shù)

刻蝕是PCB板制造過程中的重要工藝?？涛g需要在真空反應(yīng)腔中進行，在刻蝕完成之后，通過真空抽氣裝置抽出真空反應(yīng)腔中的工藝廢氣。抽出真空反應(yīng)腔中工藝廢氣的過程中，稀薄氣體的抽送對逆向反彈的顆粒無法產(chǎn)生足夠的阻擋和干擾，導(dǎo)致少量的顆粒返回到真空反應(yīng)腔中，從而影響真空反應(yīng)腔的潔凈度，降低生產(chǎn)良率，并且，真空反應(yīng)腔中顆粒的累積增加了停機維護的頻率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，而提出的一種真空刻蝕用抽氣裝置。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種真空刻蝕用抽氣裝置，包括真空腔、抽氣腔和刻蝕設(shè)備，所述真空腔通過輸出管與抽氣腔相通連接，所述輸出管與真空腔連接處設(shè)置有防回流彈片，所述防回流彈片的輸出端對應(yīng)抽氣腔設(shè)置，所述抽氣腔內(nèi)對應(yīng)輸出管的末端設(shè)置有擋板，且抽氣腔內(nèi)對應(yīng)擋板設(shè)置有反射板，所述抽氣腔通過抽氣管安裝有分子泵，所述分子泵設(shè)置在抽氣腔的外部，所述刻蝕設(shè)備與真空腔相通連接。

優(yōu)選地，所述輸出管上設(shè)置有調(diào)節(jié)閥，所述調(diào)節(jié)閥為調(diào)節(jié)球閥。 在真空腔內(nèi)PCB板通過刻蝕設(shè)備刻蝕工藝后產(chǎn)生的廢氣通過分子泵抽取時，通過調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)輸出管內(nèi)廢氣排出的量，保證真空腔內(nèi)廢氣被排出的效果。

優(yōu)選地，所述擋板呈折彎狀設(shè)置，且擋板折彎處設(shè)置有通口。輸出管通過分子泵抽取出的廢氣通過輸出管進入抽氣腔內(nèi)，并通過擋板上的通口進入抽氣腔內(nèi)，擋板避免廢氣中的顆粒物質(zhì)回流，影響廢氣抽離的效果。

優(yōu)選地，所述抽氣管與抽氣腔連接處設(shè)置有防回流彈片二，所述防回流彈片二的輸出端對應(yīng)分子泵設(shè)置。通過防回流彈片二和防回流彈片輔助分子泵對真空腔內(nèi)的廢氣抽取，雙重防護廢氣中的顆粒物體回流，保證分子泵抽取真空腔內(nèi)廢氣的效果。

優(yōu)選地，所述反射板固定安裝在抽氣腔對應(yīng)擋板的上方，且反射板設(shè)置有反射凸點，所述反射凸點的端部向抽氣管傾斜。反射板將輸出管排至抽氣腔內(nèi)的廢氣遮擋反彈，并通過反射板山的反射凸點導(dǎo)送至抽氣管，提高分子泵抽取廢氣的效率。

本實用新型中，真空腔內(nèi)PCB板通過刻蝕設(shè)備刻蝕工藝后產(chǎn)生的廢氣需要排放時，通過分子泵運行，通過抽氣腔對真空腔內(nèi)的廢氣抽取，通過調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)輸出管內(nèi)廢氣排出的量，防回流彈片二和防回流彈片輔助分子泵對真空腔內(nèi)的廢氣抽取，雙重防護廢氣中的顆粒物體回流，輸出管通過分子泵抽取出的廢氣通過輸出管進入抽氣腔內(nèi)，并通過擋板上的通口進入抽氣腔內(nèi)，擋板避免廢氣中的顆粒物質(zhì)回流，反射板將輸出管排至抽氣腔內(nèi)的廢氣遮擋反彈，并通過反射板山的反 射凸點導(dǎo)送至抽氣管，提高分子泵抽取廢氣的效率。該真空刻蝕用抽氣裝置，安裝方便，使用簡單，有效提高真空腔內(nèi)廢氣排出的效率及廢氣排出的純凈度，提高PCB板刻蝕的質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種真空刻蝕用抽氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型提出的一種真空刻蝕用抽氣裝置的抽氣腔內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型提出的一種真空刻蝕用抽氣裝置的A-A結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1真空腔；11輸出管；12調(diào)節(jié)閥；13防回流彈片；2抽氣腔；21分子泵；211抽氣管；212防回流彈片二；22擋板；221通口；23反射板；231反射凸點；3刻蝕設(shè)備。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。