[實(shí)用新型]太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備尾氣管氣路防堵塞裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720464387.5
• 申請(qǐng)日: 2017-04-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207068895U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-03-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張?jiān)迄i;董建明;王玉;梁玲;張之棟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山西潞安太陽(yáng)能科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 太原市科瑞達(dá)專利代理有限公司14101
• 代理人: 李富元

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，具體是一種放置太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備尾氣管堵塞的裝置。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能電池片（硅片）的生產(chǎn)過(guò)程中，擴(kuò)散工藝的作用形成p-n結(jié)，它屬于電池片生產(chǎn)的關(guān)鍵工藝段。因此，擴(kuò)散工藝非常重要。擴(kuò)散工藝過(guò)程中，會(huì)用到石英舟。通常在使用新舟或清洗完的石英舟后，會(huì)對(duì)石英舟進(jìn)行飽和工藝，以保證生產(chǎn)出的電池片的方阻正常。但是飽和工藝進(jìn)行一段時(shí)間內(nèi)，就會(huì)出現(xiàn)尾氣管路有白色物質(zhì)堵塞的問(wèn)題。首先會(huì)導(dǎo)致?tīng)t管壓力報(bào)警；其次會(huì)增加尾氣管路和集液瓶的清洗次數(shù)；最后產(chǎn)生的五氧化二磷會(huì)腐蝕尾氣管和爐管的爐嘴，降低了設(shè)備的使用壽命，加大了成本消耗。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：如何放置石英舟擴(kuò)散過(guò)程尾氣管路堵塞。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備尾氣管氣路防堵塞裝置，容器左側(cè)壁上有進(jìn)氣管聯(lián)通石英舟的出氣口，容器右側(cè)壁上有出氣管聯(lián)通尾氣管道，容器裝有水，水面距離出氣管或者進(jìn)氣管的距離為2-5cm，容器上側(cè)壁上有進(jìn)水管通過(guò)第一閥門(mén)連接外界水源，容器下側(cè)壁上有出水管通過(guò)第二閥門(mén)連接廢液收集桶，液體底部的側(cè)壁上有壓力計(jì)。

本實(shí)用新型的有益效果是：避免了擴(kuò)散尾氣管路的堵塞，減少了尾氣管路和集液瓶的清洗次數(shù)和時(shí)間，增加了擴(kuò)散尾氣管和玻璃爐管的使用壽命，節(jié)約了成本，可徹底解決擴(kuò)散尾氣管路的堵塞的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中，1、進(jìn)氣管，2、容器，3、進(jìn)水管，4、第一閥門(mén)，5、出氣管，6、水，7、第二閥門(mén)，8、出水管，9、壓力計(jì)。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，本實(shí)用新型通過(guò)進(jìn)氣管安裝在石英舟的出氣口，在擴(kuò)散過(guò)程中，從石英舟的出氣口出來(lái)的廢氣中含有氮?dú)狻⒀鯕狻⒙葰狻⑽逖趸字械膸追N，五氧化二磷冷卻后為白色粉末，容易堵塞管路，當(dāng)廢氣通過(guò)進(jìn)氣管進(jìn)入容器后，由于五氧化二磷具有很強(qiáng)的親水性，因此在空氣中就能吸收水分迅速潮解，從出氣管排出的尾氣不含有五氧化二磷，不會(huì)再堵塞尾氣管道，而容器底部有壓力計(jì)，在擴(kuò)散過(guò)程，吸收了五氧化二磷的水密度變大，壓力計(jì)的壓力逐步變大，當(dāng)壓力計(jì)檢測(cè)到壓力達(dá)到額定壓力（預(yù)先設(shè)定好的），第二閥門(mén)打開(kāi)把容器中的水排到廢液收集桶，然后通過(guò)第一閥門(mén)再次往容器中加水。第一閥門(mén)、第二閥門(mén)、壓力計(jì)共同連接到一個(gè)控制芯片，控制芯片來(lái)協(xié)調(diào)第一閥門(mén)、第二閥門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉。