[實用新型]一種芯片清潔裝置

有效

• 申請號: 201720447078.7
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN206779026U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 吳運林
• 申請（專利權）人: 無錫明祥電子有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;F26B15/00;F26B5/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及芯片生產設備領域，特別涉及一種芯片清潔裝置。

背景技術

芯片一般是指集成電路的載體，也是集成電路經過設計、制造、封裝、測試后的結果，通常是一個可以立即使用的獨立的整體。而由于在生產過程中，芯片表面會有部分的金屬碎片以及其他污漬，因此在芯片生產完成的最后工序需要對芯片進行清潔。

目前，公告號為CN203155613U的中國專利公開了一種半導體LED芯片生產吸嘴自動清潔裝置，它包括支架，所述支架上部設有調節噴洗裝置，下部設有承液容器，，清潔平臺可移動設置在調節噴洗裝置與承液容器之間，所述調節噴洗裝置包括用于存放清洗液的桶狀容器，該桶狀容器底部安裝有與其相同的空心狀壓力調節針，頂部設有控制清洗液排出量的調節流量閥。

這種半導體LED芯片生產吸嘴自動清潔裝置雖然整體結構較為簡單，同時通過承載容器可以收集過量的清洗液，但是這種清潔裝置在清潔過程中芯片容易偏離位置，從而導致清潔不到位等情況的出現。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種芯片清潔裝置，其具有可以有效清潔芯片，使得芯片在固定的傳送通道上，不容易出現偏移等情況的優點。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：

一種芯片清潔裝置，包括帶有進口及出口的水洗箱，所述水洗箱內設有傳輸裝置，所述傳輸裝置上方設有用于清洗芯片表面的清潔裝置，所述傳輸裝置包括固定于水洗箱進口處內壁的電機、與電機出口固定連接的轉動輥、位于轉動輥遠離電機出口一端用于將轉動輥固定于水洗箱內壁上的第一軸承、位于水洗箱出口處的傳動輥、位于傳動輥兩端用于將傳動輥固定在水洗箱內壁上的第二軸承、套設于轉動輥和傳動輥上的傳動皮帶及兩端分別固定于水洗箱進口和出口處的限位擋板。

通過采用上述技術方案，設有的水洗箱主要針對芯片在生產過程中在表面沾染的金屬碎片、油漬及污漬等去除，但是往往在整個通過過程中，芯片出現偏移等情況，從而導致清洗不干凈，因此通過設有的傳輸通道將芯片穩固的放置在相應的位置上，芯片主要通過傳動皮帶在水洗箱內通過，而在傳動皮帶的兩側設有限位擋板，有效的將芯片的位置限制在限位擋板之間的傳動皮帶上，減少出現芯片的偏移、脫落等情況，同時由于清洗裝置的作用，減少出現清洗裝置清洗過程中將芯片沖到其他位置，從而相應的穩定芯片的位置。

進一步設置：所述限位擋板上還設有若干通孔。

通過采用上述技術方案，通孔主要用于排出清潔裝置噴出的清潔液，減少出現清潔液在傳動皮帶上的存儲，盡可能的通過通孔將清潔裝置噴出的清潔液排出。

進一步設置：所述水洗箱內還設有清潔裝置，所述清潔裝置包括位于傳輸裝置下方的蓄水池、位于蓄水池一側的抽水泵、位于傳輸裝在兩側的支架、位于皮帶上方且兩端分別固定于支架上的固定管、一端與抽水泵連通另一端與固定管連通的輸水管及與固定管連通朝向傳動皮帶的噴嘴。

通過采用上述技術方案，清潔裝置主要是通過從蓄水池內抽取清潔液，從而將清潔液通入到支架上的固定管內，再從固定管底面位于傳動皮帶上方的噴嘴噴出，朝向芯片表面噴灑清潔液，有效的對芯片表面進行清潔。

進一步設置：所述蓄水池頂端還設有帶有圓孔的過濾板。

通過采用上述技術方案，由于芯片表面帶有各種金屬的碎片，為了減少碎片掉落到蓄水池中，從而在蓄水池上方設有圓孔狀的過濾板，有效的將大顆粒的碎片阻擋在外部，從而也可以減少出現芯片掉落到蓄水池的可能。

進一步設置：所述蓄水池與抽水泵的連接處設有過濾網。

通過采用上述技術方案，由于過濾板只能過濾大顆粒的雜質，為了減少出現小顆粒的雜質在進入蓄水池后通過抽水泵又重新回到芯片表面，因此在抽水泵與蓄水池連通處設有過濾網，從而進一步過濾蓄水池中可能出現的小顆粒雜質。

進一步設置：所述水洗箱出口還設有緩沖裝置，所述緩沖裝置包括位于水洗箱出口一側的固定臺、固定于固定臺上的支撐桿、套設于支撐桿上的緩沖輥及位于支撐桿上用于限位緩沖輥的轉動軸承。

通過采用上述技術方案，在芯片清洗完畢后需要從水洗箱出口排出，為了減緩芯片排出的速度設置緩沖裝置，從而有效的減緩芯片的排出速度，減少出現芯片掉落、摔壞等情況。