[實(shí)用新型]液晶硅矩陣傳感器支架和液晶硅矩陣反應(yīng)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720434167.8
• 申請(qǐng)日: 2017-04-24
• 公開（公告）號(hào): CN206930264U
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山國(guó)顯光電有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/00
• 分類號(hào): G01B11/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237
• 代理人: 智云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光電設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種液晶硅矩陣傳感器支架和液晶硅矩陣反應(yīng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在液晶硅矩陣制造工藝中，需要使用液晶硅矩陣反應(yīng)裝置對(duì)液晶硅矩陣基板進(jìn)行加工，液晶硅矩陣基板在造作過程中，需要改變其在液晶硅矩陣反應(yīng)裝置中的位置，以進(jìn)行不同的加工流程。因此需要在液晶硅矩陣反應(yīng)裝置中設(shè)置有多個(gè)液晶硅矩陣傳感器，其主要作用是通過光線反射信號(hào)的檢測(cè)來感知液晶硅矩陣基板是否在某個(gè)工位上，或液晶硅矩陣基板的位置變化情況，甚至判斷液晶硅矩陣基板在工位上的位置是否安裝正確到位，達(dá)到特定的位置條件或安裝到位后方可根據(jù)液晶硅矩陣反應(yīng)裝置的工序程序中的設(shè)置條件，執(zhí)行相應(yīng)制造工序。

如圖1所示，圖1為現(xiàn)有的液晶硅矩陣傳感器支架示意圖，現(xiàn)有技術(shù)的傳感器支架1’承載傳感器2’，通過現(xiàn)有技術(shù)的傳感器支架1’直接固定在液晶硅矩陣反應(yīng)裝置中。在現(xiàn)有技術(shù)的傳感器支架1’的固定過程中，需要反復(fù)測(cè)量液晶硅矩陣基板、液晶硅矩陣反應(yīng)裝置和傳感器2’之間的位置關(guān)系，確定好三者的位置關(guān)系才能最終確定現(xiàn)有技術(shù)的傳感器支架1’的位置，整個(gè)安裝調(diào)試過程比較繁瑣，耗時(shí)長(zhǎng)且安裝精度不高。

因此，需要設(shè)計(jì)一種安裝簡(jiǎn)單的液晶硅矩陣傳感器支架和液晶硅矩陣反應(yīng)系統(tǒng)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種液晶硅矩陣傳感器支架和液晶硅矩陣反應(yīng)系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有的液晶硅矩陣傳感器支架安裝調(diào)試過程比較繁瑣的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種液晶硅矩陣傳感器支架，所述液晶硅矩陣傳感器支架將一液晶硅矩陣傳感器與一液晶硅矩陣反應(yīng)裝置固定，于所述液晶硅矩陣反應(yīng)裝置中放置有一液晶硅矩陣基板，所述液晶硅矩陣傳感器檢測(cè)所述液晶硅矩陣基板在液晶硅矩陣反應(yīng)裝置中的位置，所述液晶硅矩陣傳感器支架包括第一支架和第二支架：

所述第一支架與所述液晶硅矩陣反應(yīng)裝置固定，所述第二支架與所述第一支架固定，所述液晶硅矩陣傳感器固定在所述第二支架上，其中：所述第一支架和所述第二支架至少其中之一實(shí)現(xiàn)在長(zhǎng)度方向的位移。

可選的，在所述的液晶硅矩陣傳感器支架中，所述第一支架包括第一端部和第二端部，所述第一端部和所述第二端部之間為活動(dòng)連接，所述第一端部固定在所述液晶硅矩陣反應(yīng)裝置上；

所述第二支架包括第三端部和第四端部，所述第三端部和所述第四端部之間為活動(dòng)連接，所述第三端部與所述第二端部固定，所述液晶硅矩陣傳感器固定在所述第四端部上。

可選的，在所述的液晶硅矩陣傳感器支架中，所述第一端部與所述第二端部的形狀為長(zhǎng)方形，所述第二端部沿所述第一端部的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)。

可選的，在所述的液晶硅矩陣傳感器支架中，所述第一端部包括第一卡匣，所述第一卡匣將所述第二端部容置其中，所述第二端部沿所述第一卡匣滑動(dòng)。

可選的，在所述的液晶硅矩陣傳感器支架中，所述第一端部還包括第一調(diào)節(jié)裝置，所述第一調(diào)節(jié)裝置位于所述第一卡匣的外壁：

所述第一調(diào)節(jié)裝置緊固所述第二端部，使所述第二端部與所述第一卡匣實(shí)現(xiàn)活動(dòng)連接，所述第二端部包括第一刻度標(biāo)記。

可選的，在所述的液晶硅矩陣傳感器支架中，所述第三端部與所述第四端部的形狀為長(zhǎng)方形，所述第四端部沿所述第三端部的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)。

可選的，在所述的液晶硅矩陣傳感器支架中，所述第三端部包括第二卡匣，所述第二卡匣將所述第四端部容置其中，所述第四端部沿所述第二卡匣滑動(dòng)。

可選的，在所述的液晶硅矩陣傳感器支架中，所述第三端部還包括第二調(diào)節(jié)裝置，所述第二調(diào)節(jié)裝置位于所述第二卡匣的外壁：

所述第二調(diào)節(jié)裝置緊固所述第四端部，使所述第四端部與所述第二卡匣實(shí)現(xiàn)活動(dòng)連接，所述第四端部包括第二刻度標(biāo)記。

可選的，在所述的液晶硅矩陣傳感器支架中，所述液晶硅矩陣傳感器支架還包括第一固定裝置和第二固定裝置，其中：

所述第一固定裝置將第一端部與所述液晶硅矩陣反應(yīng)裝置連接；

所述第二固定裝置將所述第二端部的一端與所述第三端部的一端連接在一起，使所述第一支架與所述第二支架之間的角度和位置實(shí)現(xiàn)固定或變化。

本實(shí)用新型還提供一種液晶硅矩陣反應(yīng)系統(tǒng)，所述液晶硅矩陣反應(yīng)系統(tǒng)包括：液晶硅矩陣反應(yīng)裝置、液晶硅矩陣傳感器、液晶硅矩陣傳感器支架和所述液晶硅矩陣基板，其中：

所述液晶硅矩陣傳感器支架將所述液晶硅矩陣傳感器與所述液晶硅矩陣反應(yīng)裝置固定；

所述液晶硅矩陣基板放置在所述液晶硅矩陣反應(yīng)裝置中；