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[實用新型]單晶硅棒自動可變方孔線網切割頭有效

專利信息
申請號: 201720415022.3 申請日: 2017-04-20
公開(公告)號: CN206913480U 公開(公告)日: 2018-01-23
發明(設計)人: 張鳳仁;侯賀;劉秀坤;劉麗娟 申請(專利權)人: 大連連城數控機器股份有限公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04;B28D7/00
代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350 代理人: 湯東鳳
地址: 116000 遼寧省大連*** 國省代碼: 遼寧;21
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 單晶硅 自動 可變 方孔線網 切割
【權利要求書】:

1.單晶硅棒自動可變方孔線網切割頭,該自動可變方孔線網切割頭固定在床座臺(23)上,單晶硅棒穿過自動可變方孔線網切割頭的內部并且其兩端通過夾具(24)夾緊,夾具(24)通過滑臺安裝在床座臺(23)的滑道上,其特征在于,所述的自動可變方孔線網切割頭由龍門架體(1)、兩組水平開合運動裝置(2)、兩組垂直開合運動裝置(3)組成,龍門架體(1)的水平方向上,上下固定安裝兩組水平開合運動裝置(2),在龍門架體(1)的豎直方向上,左右固定安裝兩組垂直開合運動裝置(3);所述的水平開合運動裝置(2)包括機座a(4),機座a(4)的兩端固定著伺服電機a(5)和軸承座a(6),伺服電機a(5)通過彈性聯軸節a(7)與左右旋滾珠絲桿(8)的一端連接,左右旋滾珠絲桿(8)的另一端安裝在軸承座a(6)上,所述的左右旋滾珠絲桿(8)上設有左滑座(9)和右滑座(10),所述的左滑座(9)和右滑座(10)安裝在機座a(4)上的直線導軌a(11)上,并且左滑座(9)和右滑座(10)上均設有切割輪a(20);所述的垂直開合運動裝置(3)包括機座b(12),機座b(12)的兩端固定著伺服電機b(13)和軸承座b(14),伺服電機b(13)通過彈性聯軸節b(15)與上下旋滾珠絲桿(16)的一端連接,上下旋滾珠絲桿(16)的另一端安裝在軸承座b(14)上,所述的上下旋滾珠絲桿(16)上設有上滑座(17)和下滑座(18),所述的上滑座(17)和下滑座(18)安裝在機座b(12)上的直線導軌b(19)上,并且上滑座(17)和下滑座(18)上均設有切割輪b(201)。

2.根據權利要求1所述的單晶硅棒自動可變方孔線網切割頭,其特征在于,所述的兩組水平開合運動裝置(2)通過金剛線穿過切割輪a(20)和過輪a(21)相連接,過輪a(21)固定在龍門架體(1)上。

3.根據權利要求1所述的單晶硅棒自動可變方孔線網切割頭,其特征在于,所述的兩組垂直開合運動裝置(3)通過金剛線穿過切割輪b(201)和過輪b(211)相連接,過輪b(211)固定在龍門架體(1)上。

4.根據權利要求1所述的單晶硅棒自動可變方孔線網切割頭,其特征在于,所述的左右旋滾珠絲桿(8)上設有左旋螺紋和右旋螺紋,其中左旋螺紋上安裝著左滑座(9),右旋螺紋上安裝著右滑座(10);所述的上下旋滾珠絲桿(16)上設有上螺旋紋和下螺旋紋,其中上螺旋紋上安裝著上滑座(17),下螺旋紋上安裝著下滑座(18)。

5.根據權利要求1所述的單晶硅棒自動可變方孔線網切割頭,其特征在于,所述的左滑座(9)與右滑座(10)之間的距離為120mm-190mm;所述的上滑座(17)與下滑座(18)之間的距離為120mm-190mm。

6.根據權利要求1所述的單晶硅棒自動可變方孔線網切割頭,其特征在于,所述的切割輪a(20)和切割輪b(201)上具設有至少3個線溝槽。

7.根據權利要求2或權利要求3所述的單晶硅棒自動可變方孔線網切割頭,其特征在于,經過切割輪a(20)的金剛線與經過切割輪b(201)的金剛線形成一個井字型的線網(22)。

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