[實用新型]一種大批量硅片移動裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720405348.8
• 申請日: 2017-04-18
• 公開（公告）號: CN207116395U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 侯玉;張春華;衡陽;李琰琪;鄭旭然;邢國強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 張海英,林波

1.一種大批量硅片移動裝置，其特征在于，包括：

中空結(jié)構(gòu)的主支架(1)；

用于固定硅片的多個中空結(jié)構(gòu)的副支架(2)，所述副支架(2)連接于所述主支架(1)，且所述副支架(2)的內(nèi)部與所述主支架(1)的內(nèi)部連通；及

抽真空裝置，所述抽真空裝置連接于所述主支架(1)，且所述抽真空裝置連通所述主支架(1)的內(nèi)部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大批量硅片移動裝置，其特征在于，所述主支架(1)包括提取部(11)及連接于所述提取部(11)的橫梁(12)；

所述副支架(2)等間距連接于所述橫梁(12)上；

所述副支架(2)的內(nèi)部與所述橫梁(12)的內(nèi)部連通，所述橫梁(12)的內(nèi)部與所述主支架(1)的內(nèi)部連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大批量硅片移動裝置，其特征在于，相鄰兩個所述副支架(2)在所述橫梁(12)上的投影沿所述橫梁(12)長度方向的距離不大于相鄰兩個硅片之間的距離；

所述副支架(2)與所述硅片一一對應(yīng)設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大批量硅片移動裝置，其特征在于，所述提取部(11)為倒“凵”形結(jié)構(gòu)，所述提取部(11)包括第一橫桿(111)和分別連接于所述第一橫桿(111)兩端的第一豎桿(112)，兩個所述第一豎桿(112)均連接于所述橫梁(12)；

所述述第一橫桿(111)的內(nèi)部與所述第一豎桿(112)的內(nèi)部連通，所述第一豎桿(112)的內(nèi)部與所述橫梁(12)的內(nèi)部連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大批量硅片移動裝置，其特征在于，所述副支架(2)為倒“凵”形結(jié)構(gòu)，所述副支架(2)包括第二橫桿(21)和分別連接于所述第二橫桿(21)兩端的第二豎桿(22)，所述第二橫桿(21)連接于所述橫梁(12)；

兩個所述第二豎桿(22)軸對稱地設(shè)置于所述橫梁(12)的兩側(cè)；

所述第二橫桿(21)的內(nèi)部與所述橫梁(12)的內(nèi)部連通，所述第二豎桿(22)的內(nèi)部與所述第二橫桿(21)的內(nèi)部連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的大批量硅片移動裝置，其特征在于，所述第二豎桿(22)的端部設(shè)有真空吸盤(3)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的大批量硅片移動裝置，其特征在于，還包括連接于所述第一橫桿(111)的中空結(jié)構(gòu)的手柄(4)，用于配合所述真空吸盤(3)吸附或脫離硅片。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的大批量硅片移動裝置，其特征在于，所述手柄(4)的一端與所述第一橫桿(111)連接，所述手柄(4)的另一端懸空設(shè)置并設(shè)置有墊片(6)，

所述第一橫桿(111)上設(shè)有與所述墊片(6)對應(yīng)的開孔(7)，

當(dāng)所述手柄(4)的懸空的端部靠近所述第一橫桿(111)時，所述墊片(6)堵住所述開孔(7)，以實現(xiàn)所述真空吸盤(3)吸附所述硅片；

當(dāng)所述手柄(4)的懸空的端部遠(yuǎn)離所述第一橫桿(111)時，所述墊片(6)放開所述開孔(7)，以實現(xiàn)所述真空吸盤(3)松開所述硅片。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的大批量硅片移動裝置，其特征在于，所述手柄(4)的中部與所述第一橫桿(111)之間連接有彈性裝置(5)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的大批量硅片移動裝置，其特征在于，所述彈性裝置(5)為彈簧。