[實用新型]一種節(jié)能IC固化箱

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720394357.1
• 申請日: 2017-04-16
• 公開（公告）號: CN206610794U
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁國雄
• 申請（專利權(quán)）人: 肇慶肇電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及IC芯片制造領(lǐng)域，尤其涉及一種節(jié)能IC固化箱。

背景技術(shù)

隨著科技的發(fā)展，電子產(chǎn)品越來越先進，體積越來越小，而電子產(chǎn)品發(fā)展的根本在于IC芯片的大量使用，IC芯片的生產(chǎn)制造技術(shù)限制和決定了IC芯片的發(fā)展，固化作為IC芯片生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié)之一，對其的研究一直以來是熱點。現(xiàn)有的IC固化箱不停充排保護氣體，保護氣體消耗高。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問題，提供一種節(jié)能IC固化箱，間歇性充排保護氣體，節(jié)省氣體。

為實現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

一種節(jié)能IC固化箱，包括固化箱本體、程控機，所述固化箱本體內(nèi)部設(shè)有固化區(qū)，所述固化箱本體外側(cè)連接有與固化箱本體內(nèi)部貫通的進氣管和出氣管，所述進氣管上設(shè)有電磁閥A、流量計，所述出氣管上設(shè)有止回閥、真空泵，所述電磁閥A、流量計、真空泵分別與程控機電性連接。

進一步的，所述進氣管位于固化箱本體一側(cè)，所述出氣管位于固化箱本體上端。

進一步的，所述進氣管位于固化箱本體一側(cè)，所述出氣管位于固化箱本體其它三側(cè)中的任一側(cè)。

進一步的，所述進氣管位于固化箱本體的底端，所述出氣管位于固化箱本體的上端。

進一步的，所述進氣管位于固化箱本體上端，所述出氣管位于固化箱本體底端。

進一步的，所述出氣管上設(shè)有三通，所述三通其中一個接口與出氣管連接，另外兩個接口分別連接一根帶有電磁閥B的排氣管B、一根帶有電磁閥C的排氣管C，所述排氣管B的末端連接有氣體回收罐，所述電磁閥B、電磁閥C分別與程控機電性連接。

進一步的，所述止回閥設(shè)置在靠近固化箱本體側(cè)，所述真空泵設(shè)置在遠(yuǎn)離固化箱本體側(cè)。

進一步的，所述電磁閥A為直動式電磁閥。

本實用新型的有益效果是：使用真空泵抽除空氣，可以快速充滿保護氣體；使用流量計與電磁閥A相配合，恒定保護氣體充斥量，可靠固化的同時節(jié)約保護氣體；使用止回閥，防止空氣倒流。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標(biāo)號說明：1-固化箱本體、11-固化區(qū)、2-進氣管、21-流量計、22-電磁閥A、3-出氣管、31-單向閥、32-真空泵、4-三通、41-排氣管B、42-電磁閥B、43-電磁閥C、44-排氣管C。

具體實施方式

下面將參考附圖并結(jié)合實施例，來詳細(xì)說明本實用新型。

如圖1所示，一種節(jié)能IC固化箱，包括固化箱本體1、程控機，固化箱本體1內(nèi)部設(shè)有固化區(qū)11，固化箱本體1外側(cè)連接有與固化箱本體1內(nèi)部貫通的進氣管2和出氣管3，進氣管2上設(shè)有電磁閥A22、流量計21，出氣管3上設(shè)有止回閥31、真空泵32，電磁閥A22、流量計21、真空泵32分別與程控機電性連接，其中，電磁閥A22為直動式電磁閥。

使用真空泵32抽除空氣，可以快速充滿保護氣體；使用流量計21與電磁閥A22相配合，恒定保護氣體充斥量，可靠固化的同時節(jié)約保護氣體；使用止回閥31，防止空氣倒流。

進氣管2位于固化箱本體1一側(cè)，出氣管3位于固化箱本體1上端。進氣管2位于固化箱本體1一側(cè)，出氣管3位于固化箱本體1其它三側(cè)中的任一側(cè)。

進氣管2位于固化箱本體1的底端，出氣管3位于固化箱本體1的上端。進氣管2位于固化箱本體1上端，出氣管3位于固化箱本體1底端。出氣管3上設(shè)有三通4，三通4其中一個接口與出氣管3連接，另外兩個接口分別連接一根帶有電磁閥B42的排氣管B41、一根帶有電磁閥C43的排氣管C44，排氣管B41的末端連接有氣體回收罐，電磁閥B42、電磁閥C43分別與程控機電性連接。

利用氣體回收罐將固化箱本體1內(nèi)的保護氣體回收純化后能夠再次利用。

止回閥31設(shè)置在靠近固化箱本體1側(cè)，真空泵32設(shè)置在遠(yuǎn)離固化箱本體1側(cè)。