[實(shí)用新型]掃描電鏡的多功能樣品臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720389693.7
• 申請(qǐng)日: 2017-04-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206697444U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃成剛;馬新民;吳麗榮;楊森;惠媛媛;李志明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)石油天然氣股份有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 趙燕力,王春光

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型是關(guān)于一種掃描電鏡的零部件，尤其涉及一種掃描電鏡的多功能樣品臺(tái)。

背景技術(shù)

眾所周知，掃描電鏡的工作原理為燈絲(場(chǎng)發(fā)射燈絲或鎢燈絲)釋放出大量電子在磁場(chǎng)和電場(chǎng)的作用下加速，轟擊待測(cè)樣品表面，使之產(chǎn)生二次電子或背散射電子，從而成像。大量的電子在高能狀態(tài)下轟擊不導(dǎo)電的待測(cè)樣品表面時(shí)，容易產(chǎn)生電荷累積和放電現(xiàn)象，使得圖像局部區(qū)域呈現(xiàn)高亮度特征。因此研究人員在用掃描電鏡測(cè)試不導(dǎo)電樣品時(shí)，為了獲取清晰的圖像會(huì)在測(cè)試前用鍍膜儀在待測(cè)樣品表面鍍上一層導(dǎo)電金屬元素(如Au、Cr等)，待測(cè)樣品的其它面仍然不導(dǎo)電，然后用導(dǎo)電膠布將待測(cè)樣品捆綁固定并連通待測(cè)表面與金屬樣品臺(tái)，使之導(dǎo)出多余的電荷避免放電現(xiàn)象，從而獲取清晰的二次電子圖像或背散射電子圖像(國(guó)家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局，GB/T 18295-2001油氣儲(chǔ)層砂巖樣品掃描電子顯微鏡分析方法，p.1-8，2001)。這種利用導(dǎo)電膠布粘貼捆綁待測(cè)樣品的方法容易破壞待測(cè)面的鍍金層，不利于將來(lái)二次補(bǔ)充測(cè)試。

研究人員在設(shè)計(jì)和制造掃描電鏡樣品臺(tái)時(shí)，多考慮樣品臺(tái)如何卡緊待測(cè)樣品并解決可旋轉(zhuǎn)的功能問(wèn)題，例如李琰琪等，掃描電鏡樣品臺(tái)，專利號(hào)：CN201520290865.6。也有部分樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)用于解決如何多放樣品個(gè)數(shù)從而提高測(cè)試效率的問(wèn)題，例如程錦等，一種冷場(chǎng)掃描電鏡用多功能樣品臺(tái)，專利號(hào)：CN201620194696.0；以及桂曉露等，掃描電鏡電子背散射多功能樣品臺(tái)，專利號(hào)：CN201520820847.4。目前的現(xiàn)有技術(shù)中還未見(jiàn)有樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)制造是專門(mén)針對(duì)放電和導(dǎo)電問(wèn)題的。

由此，本發(fā)明人憑借多年從事相關(guān)行業(yè)的經(jīng)驗(yàn)與實(shí)踐，提出一種掃描電鏡的多功能樣品臺(tái)，以克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種掃描電鏡的多功能樣品臺(tái)，在固定待測(cè)樣品的同時(shí)能起到導(dǎo)電作用，不會(huì)破壞待測(cè)樣品表面的金屬鍍層。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種掃描電鏡的多功能樣品臺(tái)，待測(cè)樣品的一側(cè)有金屬鍍層，所述掃描電鏡的多功能樣品臺(tái)包括：

底座，能安裝到所述掃描電鏡的托盤(pán)上，并與所述托盤(pán)導(dǎo)電連接；

樣品擱置臺(tái)，固定在所述底座上，并與所述底座導(dǎo)電連接，用于放置待測(cè)樣品；以及

導(dǎo)電壓板，所述導(dǎo)電壓板的一端壓緊在所述待測(cè)樣品上具有金屬鍍層的一側(cè)，另一端連接在所述樣品擱置臺(tái)上并與所述樣品擱置臺(tái)導(dǎo)電連接。

通過(guò)導(dǎo)電壓板將待測(cè)樣品表面的金屬鍍層與樣品擱置臺(tái)導(dǎo)電連接，從而與掃描電鏡的托盤(pán)導(dǎo)電連接；同時(shí)導(dǎo)電壓板還將待測(cè)樣品進(jìn)行固定，不會(huì)破壞待測(cè)樣品表面的金屬鍍層。

在本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施方式中，所述導(dǎo)電壓板能相對(duì)所述樣品擱置臺(tái)滑動(dòng)的連接在所述樣品擱置臺(tái)上。導(dǎo)電板可移動(dòng)，能適應(yīng)不同高度或?qū)挾鹊拇郎y(cè)樣品。

在本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施方式中，所述樣品擱置臺(tái)由板材彎折成L形，所述樣品擱置臺(tái)的第一側(cè)面水平固定在所述底座上，第二側(cè)面豎直向上；所述待測(cè)樣品放置在所述樣品擱置臺(tái)的第一側(cè)面，具有金屬鍍層的一側(cè)朝上；所述導(dǎo)電壓板滑動(dòng)連接在所述樣品擱置臺(tái)的第二側(cè)面。樣品擱置臺(tái)的一邊有垂直向上的擋板，其他三個(gè)邊為開(kāi)放空間，這樣不限制所放待測(cè)樣品規(guī)格和大小。

在本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施方式中，所述導(dǎo)電壓板為L(zhǎng)形，所述導(dǎo)電壓板的第一側(cè)壁上開(kāi)設(shè)長(zhǎng)槽；所述樣品擱置臺(tái)的第二側(cè)面上螺紋連接緊固螺釘，所述緊固螺釘位于所述長(zhǎng)槽內(nèi)，所述導(dǎo)電壓板能在豎直方向滑動(dòng)并由所述緊固螺釘固定；所述導(dǎo)電壓板的第二側(cè)壁水平伸出，用于壓緊在所述待測(cè)樣品的金屬鍍層上。可上下移動(dòng)的導(dǎo)電板采用“L”形設(shè)計(jì)，不僅可以固定待測(cè)樣品，而且用于待測(cè)表面的導(dǎo)電。

在本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施方式中，所述緊固螺釘?shù)穆菝鄙显O(shè)有向外凸出的手捏持部。緊固螺釘?shù)穆菝毕蛲馔钩鲈O(shè)置，便于手?jǐn)Q固定，簡(jiǎn)單方便。

在本實(shí)用新型的一較佳實(shí)施方式中，所述底座、所述樣品擱置臺(tái)及所述導(dǎo)電壓板均采用導(dǎo)電材料制作。

由上所述，本實(shí)用新型的多功能樣品臺(tái)具有以下優(yōu)點(diǎn)：1、通過(guò)導(dǎo)電壓板將待測(cè)樣品表面的金屬鍍層與樣品擱置臺(tái)導(dǎo)電連接，從而與掃描電鏡的托盤(pán)導(dǎo)電連接；同時(shí)導(dǎo)電壓板還將待測(cè)樣品進(jìn)行固定，不會(huì)破壞待測(cè)樣品表面的金屬鍍層。2、樣品擱置臺(tái)的一邊有垂直向上的擋板，其他三個(gè)邊為開(kāi)放空間，這樣不限制所放待測(cè)樣品規(guī)格和大小。3、可上下移動(dòng)的導(dǎo)電板采用“L”形設(shè)計(jì)，不僅可以固定待測(cè)樣品，而且用于待測(cè)表面的導(dǎo)電。4、導(dǎo)電板可上下移動(dòng)，能適應(yīng)不同高度的待測(cè)樣品。5、緊固螺釘?shù)穆菝毕蛲馔钩鲈O(shè)置，便于手?jǐn)Q固定，簡(jiǎn)單方便。