[實用新型]掃描電鏡的多功能樣品臺

有效

• 申請號: 201720389693.7
• 申請日: 2017-04-14
• 公開（公告）號: CN206697444U
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發明（設計）人: 黃成剛;馬新民;吳麗榮;楊森;惠媛媛;李志明
• 申請（專利權）人: 中國石油天然氣股份有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 趙燕力,王春光

1.一種掃描電鏡的多功能樣品臺，待測樣品的一側有金屬鍍層，其特征在于，所述掃描電鏡的多功能樣品臺包括：

底座，能安裝到所述掃描電鏡的托盤上，并與所述托盤導電連接；

樣品擱置臺，固定在所述底座上，并與所述底座導電連接，用于放置待測樣品；以及

導電壓板，所述導電壓板的一端壓緊在所述待測樣品上具有金屬鍍層的一側，另一端連接在所述樣品擱置臺上并與所述樣品擱置臺導電連接。

2.如權利要求1所述的掃描電鏡的多功能樣品臺，其特征在于，所述導電壓板能相對所述樣品擱置臺滑動的連接在所述樣品擱置臺上。

3.如權利要求1所述的掃描電鏡的多功能樣品臺，其特征在于，所述樣品擱置臺由板材彎折成L形，所述樣品擱置臺的第一側面水平固定在所述底座上，第二側面豎直向上；所述待測樣品放置在所述樣品擱置臺的第一側面，具有金屬鍍層的一側朝上；所述導電壓板滑動連接在所述樣品擱置臺的第二側面。

4.如權利要求3所述的掃描電鏡的多功能樣品臺，其特征在于，所述導電壓板為L形，所述導電壓板的第一側壁上開設長槽；所述樣品擱置臺的第二側面上螺紋連接緊固螺釘，所述緊固螺釘位于所述長槽內，所述導電壓板能在豎直方向滑動并由所述緊固螺釘固定；所述導電壓板的第二側壁水平伸出，用于壓緊在所述待測樣品的金屬鍍層上。

5.如權利要求4所述的掃描電鏡的多功能樣品臺，其特征在于，所述緊固螺釘的螺帽上設有向外凸出的手捏持部。

6.如權利要求1-5中任一項所述的掃描電鏡的多功能樣品臺，其特征在于，所述底座、所述樣品擱置臺及所述導電壓板均采用導電材料制作。