[實用新型]晶圓解耦裝置及其采用它的固晶機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720362911.8
• 申請日: 2017-04-07
• 公開（公告）號: CN207038487U
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王敕;戴泳雄;李剛
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇艾科瑞思封裝自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司32232
• 代理人: 孫艷

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及晶圓解耦領(lǐng)域，具體涉及晶圓解耦裝置及其采用它的固晶機。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件如IC和LED等的封裝過程中，固晶是極其重要的環(huán)節(jié)。固晶的過程是：首先由點膠機構(gòu)(也稱點膠模塊)在基板的固晶工位上點膠，而后由固晶機構(gòu)(也稱固晶邦頭)的固晶擺臂(也稱取晶擺臂)將半導(dǎo)體晶粒從晶圓上取出，進而轉(zhuǎn)移到已點好膠的固晶工位上。在相同固晶良品率(質(zhì)量)條件下，固晶機的固晶效率是評價固晶機性能的重要指標。

目前，如圖1所示，在晶圓放置臺101轉(zhuǎn)動時，需要驅(qū)動與晶圓放置臺101連接的氣缸固定板105、氣缸104、活動板103和晶圓薄膜定位板102同時轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動時，氣缸104的轉(zhuǎn)動半徑大于活動板103的轉(zhuǎn)動半徑，容易和周邊部件發(fā)生干涉，轉(zhuǎn)動時容易碰撞，需要的轉(zhuǎn)動空間尺寸較大，而且驅(qū)動時，負載重量較重，轉(zhuǎn)動時電機功率較大，耗能較高。

因此亟需一種晶圓放置臺可獨立旋轉(zhuǎn)的晶圓解耦裝置。

實用新型內(nèi)容

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種晶圓放置臺可獨立旋轉(zhuǎn)的晶圓解耦裝置。

為達到上述目的，本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

晶圓解耦裝置，其特征在于，包括：晶圓放置臺，所述晶圓放置臺上部設(shè)有晶圓薄膜放置口；所述晶圓放置臺外部套設(shè)有晶圓薄膜張緊裝置，所述晶圓放置臺相對于所述晶圓薄膜張緊裝置獨立圓周轉(zhuǎn)動。

采用上述技術(shù)方案的有益效果是：通過使晶圓放置臺獨立旋轉(zhuǎn)，而驅(qū)動裝置不動，避免了晶圓放置臺轉(zhuǎn)動時與周邊部件發(fā)生干涉而導(dǎo)致相互碰撞的情形，再次，晶圓放置臺負載變輕，電機的功率變小，大大節(jié)約了運行成本。

進一步地，所述晶圓薄膜張緊裝置包括套設(shè)于晶圓放置臺外部的活動板和固定板，所述晶圓放置臺相對于所述活動板或所述定位板獨立圓周轉(zhuǎn)動，所述活動板與所述晶圓放置臺之間形成一槽口，所述槽口內(nèi)設(shè)有傳動桿，所述傳動桿的一端連接有驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置用于驅(qū)動所述活動板沿所述晶圓放置臺的軸向來回運動。

采用上述技術(shù)方案的有益效果是：通過具體設(shè)置晶圓薄膜張緊裝置，使晶圓放置臺獨立旋轉(zhuǎn)，而驅(qū)動裝置不動，避免了晶圓放置臺轉(zhuǎn)動時與周邊部件發(fā)生干涉而導(dǎo)致相互碰撞的情形。

進一步地，所述活動板與所述晶圓放置臺之間設(shè)有導(dǎo)向機構(gòu)，所述導(dǎo)向機構(gòu)包括與所述活動板軸線平行且設(shè)置于所述活動板內(nèi)壁的導(dǎo)桿，與所述導(dǎo)桿軸線相垂直的導(dǎo)輪，所述導(dǎo)輪與所述晶圓放置臺轉(zhuǎn)動連接。

采用上述技術(shù)方案的有益效果是：通過設(shè)有導(dǎo)向機構(gòu)，使得活動板運動更加平穩(wěn)，保證平面度要求，且可以保證活動板與定位板不會處于“憋死”狀態(tài)，導(dǎo)桿與導(dǎo)輪滾動接觸，進一步提升活動板的平穩(wěn)性，避免“憋死”狀態(tài)。

進一步地，所述導(dǎo)輪兩側(cè)設(shè)有調(diào)整塊，用于調(diào)整所述導(dǎo)桿軸線與所述導(dǎo)輪軸線的垂直度。

采用上述技術(shù)方案的有益效果是：保證上下運動更加平穩(wěn)，進一步提高效率。

進一步地，所述晶圓放置臺的底部連接有帶輪，所述帶輪通過皮帶組件驅(qū)動并使所述晶圓放置臺作圓周轉(zhuǎn)動。

采用上述技術(shù)方案的有益效果是：可以保證取出各個角度的小芯片進行粘接要求。

進一步地，所述定位板設(shè)有一用于取拿晶圓薄膜的開口。

采用上述技術(shù)方案的有益效果是：便于晶圓薄膜放入和取出。

進一步地，所述驅(qū)動裝置為氣缸，所述氣缸的數(shù)量為4個且沿所述晶圓放置臺周向均勻設(shè)置。

采用上述技術(shù)方案的有益效果是：增加活動板運動的平穩(wěn)性，加快效率。

本實用新型還公開了一種固晶機，包括基板上料裝置、點膠裝置，其特征在于，還包括上述的晶圓解耦裝置。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實用新型導(dǎo)向機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中數(shù)字和字母所表示的相應(yīng)部件的名稱：

1-驅(qū)動裝置；2-傳動桿；3-帶輪；4-活動板；5-定位板；6-晶圓放置臺；7-導(dǎo)桿；8-導(dǎo)輪；9-調(diào)整塊；10-槽口；101-晶圓放置臺；102-晶圓薄膜定位板；103-活動板；104-氣缸；105-氣缸固定板。

具體實施方式