[實(shí)用新型]一種懸臂梁式薄膜壓力發(fā)電結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720333432.3 | 申請(qǐng)日： | 2017-03-31 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN206635021U | 公開（公告）日： | 2017-11-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 閆樹斌;李國(guó)洪;張志東;張彥軍;馮登超;張勐;趙學(xué)峰;薛晨陽(yáng);張文棟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中北大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B81B3/00 | 分類號(hào)： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 太原科衛(wèi)專利事務(wù)所(普通合伙)14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 國(guó)省代碼： | 山西;14 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 懸臂梁 薄膜 壓力 發(fā)電 結(jié)構(gòu) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種懸臂梁式薄膜壓力發(fā)電結(jié)構(gòu),其特征在于包括框型基底（1），框型基底（1）的一側(cè)開口，框型基底開口正對(duì)的梁上設(shè)有懸空在框型基底內(nèi)的硅懸臂梁（2），硅懸臂梁（2）的自由端固定有質(zhì)量塊（3），框型基底開口正對(duì)的梁上方還設(shè)有二氧化硅絕緣層（4），二氧化硅絕緣層（4）上設(shè)有底電極層（5），底電極層（5）上朝框型基底開口側(cè)延伸有位于硅懸臂梁上方的條狀底電極層（5），質(zhì)量塊（3）上設(shè)有PZT壓電層（6），PZT壓電層（6）朝二氧化硅絕緣層方向延伸有位于條狀底電極層上方的條狀PZT壓電層（6），條狀PZT壓電層上方設(shè)有頂電極層（7）。
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