[實用新型]激光加工裝置有效
| 申請號： | 201720324632.2 | 申請日： | 2017-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN207071747U | 公開（公告）日： | 2018-03-06 |
| 發明（設計）人： | 奧間惇治;長尾光洋;福智升央;伊崎泰則 | 申請（專利權）人： | 浜松光子學株式會社 |
| 主分類號： | B23K26/38 | 分類號： | B23K26/38;B23K26/046;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司11322 | 代理人： | 楊琦 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 加工 裝置 | ||
1.一種激光加工裝置，其特征在于，
是向對象物照射激光并進行所述對象物的激光加工的激光加工裝置，
具備：
激光輸出部，其輸出所述激光；
空間光調制器，其根據相位圖案調制且反射從所述激光輸出部輸出的所述激光；及
物鏡，其將來自所述空間光調制器的所述激光向所述對象物聚光，所述空間光調制器具有所述激光入射的入射面、將從所述入射面入射的所述激光向所述入射面反射的反射面、配置于所述入射面和所述反射面之間且顯示所述相位圖案并調制所述激光的調制層，
在所述反射面上形成有在相互不連續的多個波長帶具有高反射率區域的電介質多層膜。
2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，
具備保持形變修正圖案的圖案保持部，所述形變修正圖案是用于修正根據所述反射面的平面度而對所述激光的波陣面賦予的形變的所述相位圖案，
所述圖案保持部保持按每個所述波長帶不同的所述形變修正圖案。
3.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，
具備表格保持部，所述表格保持部保持使用于將所述相位圖案顯示于所述調制層的圖像信號的亮度值和所述相位圖案的相位調制量相對應的表格，
所述表格保持部保持按每個所述波長帶不同的所述表格。
4.根據權利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，
具備表格保持部，所述表格保持部保持使用于將所述相位圖案顯示于所述調制層的圖像信號的亮度值和所述相位圖案的相位調制量相對應的表格，
所述表格保持部保持按每個所述波長帶不同的所述表格。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，
在所述入射面上形成有在所述多個波長帶具有高透射率區域的反射防止膜。
6.根據權利要求1～4中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于，
所述多個波長帶包含500nm以上且550nm以下的第一波長帶及1000nm以上且1150nm以下的第二波長帶。
7.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其特征在于，
所述多個波長帶包含500nm以上且550nm以下的第一波長帶及1000nm以上且1150nm以下的第二波長帶。
8.根據權利要求6所述的激光加工裝置，其特征在于，
所述多個波長帶包含1300nm以上且1400nm以下的第三波長帶。
9.根據權利要求7所述的激光加工裝置，其特征在于，
所述多個波長帶包含1300nm以上且1400nm以下的第三波長帶。
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