[實用新型]高溫工藝腔豎向布置的石墨烯連續生長設備

有效

• 申請號: 201720309710.1
• 申請日: 2017-03-27
• 公開（公告）號: CN206858694U
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 李占成;伍俊;史浩飛;李昕;黃德萍;段銀武;張永娜;余杰
• 申請（專利權）人: 重慶墨希科技有限公司
• 主分類號: C30B25/02
• 分類號: C30B25/02;C30B29/02;C23C16/54;C23C16/26
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙)51232
• 代理人: 劉文娟

1.高溫工藝腔豎向布置的石墨烯連續生長設備，包括放料冷卻腔(1)、收料冷卻腔(4)以及用于所述放料冷卻腔(1)和收料冷卻腔(4)抽真空的真空泵(7)；所述放料冷卻腔(1)內設置有石墨烯生長基底放料輥(11)和放料冷卻區導向輥(12)，所述收料冷卻腔(4)內設置有石墨烯基底收料輥(41)以及收料冷卻腔導向輥(42)；

其特征在于：還包括第一高溫工藝腔(2)、第二高溫工藝腔(3)以及過渡腔(5)；所述第一高溫工藝腔(2)的兩端和第二高溫工藝腔(3)的兩端均設置有勻流隔熱裝置(9)；所述第一高溫工藝腔(2)和第二高溫工藝腔(3)上均設置有加熱器(10)；

所述第一高溫工藝腔(2)與第二高溫工藝腔(3)均豎向布置；所述第一高溫工藝腔(2)一端與放料冷卻腔(1)連接且連通，另一端與過渡腔(5)連接且連通，所述第二高溫工藝腔(3)一端與過渡腔(5)連接且連通，另一端與收料冷卻腔(4)連接且連通；所述過渡腔(5)內第一高溫工藝腔(2)以及第二高溫工藝腔(3)對應的位置均設置有過渡輥(52)；

石墨烯生長基底放料輥(11)上放料石墨烯生長基底(6)依次經過放料冷卻區導向輥(12)、第一高溫工藝腔(2)、過渡腔(5)中的過渡輥(52)、第二高溫工藝腔(3)、收料冷卻腔導向輥(42)最終卷收到石墨烯基底收料輥(41)上。

2.如權利要求1所述的高溫工藝腔豎向布置的石墨烯連續生長設備，其特征在于：所述過渡腔(5)內設置有檢測石墨烯生長基底(6)張力的張力檢測裝置(51)。

3.如權利要求1所述的高溫工藝腔豎向布置的石墨烯連續生長設備，其特征在于：所述收料冷卻腔導向輥(42)采用水冷導向輥。

4.如權利要求1所述的高溫工藝腔豎向布置的石墨烯連續生長設備，其特征在于：第一高溫工藝腔(2)的兩端均通過多點進氣密封法蘭(8)分別與放料冷卻腔(1)和過渡腔(5)連接，第二高溫工藝腔(3)的兩端均通過多點進氣密封法蘭(8)分別與過渡腔(5)和收料冷卻腔(4)連接。

5.如權利要求4所述的高溫工藝腔豎向布置的石墨烯連續生長設備，其特征在于：所述多點進氣密封法蘭(8)包括外法蘭(82)、內法蘭(83)以及密封膠圈(84)，所述內法蘭(83)具有凸臺端，所述外法蘭(82)設置有與內法蘭(83)匹配的凹槽，所述密封膠圈(84)安裝在凹槽內，所述內法蘭(83)的凸臺端插入外法蘭(82)的凹槽內，且頂緊密封膠圈(84)，所述內法蘭(83)上設置有連通內法蘭(83)內圈的通氣通道(81)。

6.如權利要求1所述的高溫工藝腔豎向布置的石墨烯連續生長設備，其特征在于：所述勻流隔熱裝置(9)包括至少兩層隔熱板(91)以及支撐柱(92)，所述支撐柱(92)設置在相鄰兩層隔熱板(91)之間；所述隔熱板(91)上設置有中心通孔(93)以及均勻分布的透氣孔，所述相鄰兩層隔熱板(91)上的透氣孔錯位分布。

7.如權利要求6所述的高溫工藝腔豎向布置的石墨烯連續生長設備，其特征在于：所述隔熱板(91)上的中心通孔(93)為沿徑向的通槽。

8.如權利要求1所述的高溫工藝腔豎向布置的石墨烯連續生長設備，其特征在于：所述放料冷卻腔(1)設置有一個真空泵(7)，所述收料冷卻腔(4)設置有一個真空泵(7)。

9.如權利要求1所述的高溫工藝腔豎向布置的石墨烯連續生長設備，其特征在于：所述加熱器(10)采用電阻加熱器。