[實用新型]一種硅片清洗裝置及鏈式機臺

有效

• 申請號: 201720308800.9
• 申請日: 2017-03-28
• 公開（公告）號: CN207103242U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 侯玉;易書令;張春華;衡陽;陳佳男;鄭旭然;邢國強
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 張海英,林波

技術領域

本實用新型涉及硅片生產設備技術領域，尤其涉及一種硅片清洗裝置及鏈式機臺。

背景技術

常規的化石燃料日益消耗殆盡，在現有的可持續能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。太陽能發電裝置又稱為太陽能電池或光伏電池，可以將太陽能直接轉換成電能，其發電原理是基于半導體PN結的光生伏特效應。太陽能發電裝置的核心是電池片，目前絕大多數都采用硅片制成。

現有技術中，晶體硅太陽能電池的制備工藝主要包括：清洗、去損傷層、制絨、擴散制結、刻蝕、沉積減反射膜、印刷、燒結、電池片測試。其中，制絨和刻蝕是晶體硅太陽能電池生產過程中的兩個重要工序。在制絨/刻蝕工序中，硅片經傳送帶依次通過制絨槽(刻蝕槽)，第一水洗槽，堿槽，第二水洗槽，酸槽，第三水洗槽，烘干槽。在硅片傳送過程中，硅片經過制絨槽(刻蝕槽)時，會將部分制絨液(刻蝕液)帶入第一水洗槽，從而導致第一水洗槽中含有一定濃度的制絨液(刻蝕液)，硅片離開第一水洗槽時，會將這部分制絨液(刻蝕液)帶入堿槽，從而與堿槽溶液進行反應，降低堿槽溶液純度，隨著生產的進行，第一水洗槽中制絨液(刻蝕液)逐步增大，堿槽濃度逐步降低，同理，酸槽濃度也降低。

現有技術中存在的缺點為：隨著生產的持續進行，各槽體藥液濃度波動，嚴重時將導致硅片外觀以及制程參數異常，從而影響正常生產。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種硅片清洗裝置及鏈式機臺，以解決現有技術中存在的晶體硅太陽能電池的制備過程中，各槽體藥液濃度波動，影響正常生產的技術問題。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種硅片清洗裝置，包括水洗槽、噴淋組件和循環槽；

所述噴淋組件包括噴頭，所述噴頭設于所述水洗槽的上方，所述循環槽設于所述水洗槽的下方，所述循環槽的槽口與所述水洗槽相對應；

所述水洗槽包括并排設置的前洗槽和后洗槽。

進一步的，所述噴淋組件包括多個噴頭，一部分所述噴頭連接清水管路，另一部分所述噴頭通過回水管與所述循環槽連接；

所述清水管路連接的所述噴頭與所述水洗槽的后洗槽相對設置，所述回水管連接的所述噴頭與所述水洗槽的所述前洗槽相對設置。

進一步的，所述前洗槽的寬度大于所述后洗槽的寬度，且所述前洗槽對應的所述噴頭的數量大于所述后洗槽對應的所述噴頭的數量。

進一步的，所述噴淋組件包括上下兩排所述噴頭，位于上排的所述噴頭和位于下排的所述噴頭之間為硅片通道。

進一步的，所述噴頭為雙噴噴頭，噴頭包括兩個所述噴淋口，兩個所述噴淋口之間的夾角為10°-60°，例如15°、20°、25°、30°、35°、40°、45°、50°、55°等，但并不僅限于所列舉的數值，該數值范圍內其他未列舉的數值同樣適用

進一步的，所述水洗槽的尾端設有海綿滾輪。

進一步的，所述噴淋組件設于所述水洗槽的正上方，所述循環槽設于所述水洗槽的正下方，且所述水洗槽的垂直投影面積不大于所述循環槽的垂直投影面積。

本實用新型還提供一種鏈式機臺，包括上述的硅片清洗裝置。

進一步的，包括傳送滾輪，所述傳送滾輪連接有堿槽、酸槽以及三組所述硅片清洗裝置，三組所述硅片清洗裝置分別設于所述堿槽和所述酸槽的外側及所述堿槽和所述酸槽之間，所述硅片清洗裝置的所述水洗槽與所述傳送滾輪連接；

沿所述傳送滾輪傳送方向三組所述硅片清洗裝置的所述循環槽分別為第一循環槽、第二循環槽和第三循環槽，所述第二循環槽分別與所述第一循環槽和所述第三循環槽連通，所述第三循環槽內的水溢流回流到所述第二循環槽內，所述第二循環槽內的水溢流回流到所述第一循環槽內，所述第一循環槽內的水溢流直接排出。

本實用新型提供的一種硅片清洗裝置及鏈式機臺，使用時，帶有藥液(制絨液、刻蝕液、堿液、酸液)的硅片移動至水洗槽內，之后，啟動噴淋組件，噴頭對硅片進行清洗，先后依次通過前洗槽和后洗槽進行清洗，清洗后的液體流入到循環槽中，清洗后的硅片再進入到下一部的工藝設備上。

該硅片清洗裝置，去除硅片上帶有的藥液，進而可避免如制絨液、刻蝕液、堿液、酸液等進入到其他的槽體中，從而保證各槽體中溶液的純度，延長各槽體藥液壽命，提升產能，降低制程風險；同時，其還具有結構簡單的特點，可廣泛應用于各類型硅片生產的鏈式機臺中。

附圖說明

圖1是本實用新型提供的鏈式機臺的主視圖；

圖2是本實用新型提供的鏈式機臺的噴淋組件處的主視圖。

圖中：