[實(shí)用新型]集成電路測試裝置及其測試探針

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720299385.5
• 申請(qǐng)日: 2017-03-24
• 公開（公告）號(hào): CN206696394U
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王國華;謝偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市斯納達(dá)科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28;G01R1/067;G01R1/073
• 代理公司: 深圳市沃德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)44347
• 代理人: 高杰,于志光

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及集成電路測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種集成電路測試裝置及其測試探針。

背景技術(shù)

隨著集成電路集成規(guī)模的擴(kuò)大和時(shí)鐘頻率的提高，信號(hào)連接線上的互連效應(yīng)已成為影響電路信號(hào)完整性以及系統(tǒng)整體性能的主要因素。在高速電路中，由于趨膚效應(yīng)，邊緣效應(yīng)以及襯底損耗等因素的影響，互連線的分布參數(shù)隨頻率變化的現(xiàn)象越來越普遍。對(duì)測試技術(shù)的要求也越來越高。

如圖1至圖3所示，現(xiàn)有集成電路測試裝置中所采用的傳統(tǒng)測試探針10一般由四個(gè)部分組成：上針頭11、針管12、彈簧13和下針頭14。其中，測試探針10的彈力是由組裝在針管12內(nèi)的彈簧13所提供，當(dāng)電信號(hào)通過彈簧13時(shí)，彈簧13就相當(dāng)于一個(gè)電感，測試探針10自感系數(shù)很高，導(dǎo)致測試探針能通過的高頻信號(hào)能力大大降低，難以滿足對(duì)高頻集成電路進(jìn)行測試的要求。目前，為了提高測試探針能通過高頻信號(hào)的能力，一般是盡可能地將測試探針做短，但這樣做使測試探針的制作難度加大，制作成本增加。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種制作容易且成本低的測試探針，所述測試探針用于集成電路測試裝置中時(shí)，可滿足對(duì)高頻集成電路進(jìn)行測試的要求。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種測試探針，用于集成電路測試裝置中以電性導(dǎo)通待測試集成電路和測試用印制電路板，所述測試探針包括由導(dǎo)電材料制成的針筒、連接于所述針筒一端的第一針頭、和連接于所述針筒另一端的第二針頭，所述測試探針還包括為針頭活動(dòng)提供彈力的非螺旋形彈性體，所述彈性體裝設(shè)在所述針筒內(nèi)，所述第一針頭的內(nèi)端可活動(dòng)地插設(shè)在所述針筒內(nèi)，所述第一針頭的外端伸出到所述針筒外，所述第一針頭的內(nèi)端與所述彈性體的一端抵接。

優(yōu)選地，所述彈性體由導(dǎo)電或不導(dǎo)電的硅膠制成。

優(yōu)選地，所述彈性體包括沿所述針筒軸向排列的多個(gè)單體。

優(yōu)選地，所述單體的形狀為球狀或柱狀。

優(yōu)選地，所述彈性體為單一的長條柱狀。

優(yōu)選地，所述第二針頭的內(nèi)端可活動(dòng)地插設(shè)在所述針筒內(nèi)，所述第二針頭的外端伸出到所述針筒外，所述第二針頭的內(nèi)端與所述彈性體的另一端抵接。

優(yōu)選地，所述第二針頭與所述針筒一體成型制成。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型還提供一種集成電路測試裝置，包括壓緊機(jī)構(gòu)、探針組件、以及用于放置待測集成電路的限位框，所述探針組件包括安裝塊及安裝在所述安裝塊上的多個(gè)前述的測試探針，所述測試探針的下端用于與測試用印制電路板導(dǎo)電接觸，所述限位框設(shè)于所述探針組件上側(cè)，所述壓緊機(jī)構(gòu)設(shè)于所述限位框的上方以用于壓緊待測集成電路使待測集成電路的引腳與對(duì)應(yīng)的測試探針導(dǎo)電接觸。

本實(shí)用新型集成電路測試裝置及其測試探針，通過將測試探針中提供彈力的元件由現(xiàn)有的導(dǎo)電彈簧換成非螺旋形彈性體，減小了測試探針的自感，極大地提高測試探針通過高頻信號(hào)的能力，并且降低了制作成本和集成電路測試裝置的設(shè)計(jì)難度，實(shí)現(xiàn)低成本的方式來對(duì)高頻信號(hào)進(jìn)行有效測試。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有集成電路測試裝置中慣用探針的組裝示意圖。

圖2為圖1所示慣用探針的剖視圖。

圖3為圖1所示慣用探針的分解圖。

圖4為本實(shí)用新型集成電路測試裝置的測試探針一實(shí)施例的組裝示意圖。

圖5為圖4所示測試探針的剖視圖。

圖6為圖4所示測試探針的分解圖。

圖7為本實(shí)用新型測試探針中彈性體的另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8為本實(shí)用新型集成電路測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，其中一并示出了待測試集成電路。

本實(shí)用新型目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說明。

具體實(shí)施方式

應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施方式僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

本實(shí)用新型提供一種測試探針，用于集成電路測試裝置中以電性導(dǎo)通待測試集成電路和測試用印制電路板。

如圖4至圖6所示，在本實(shí)用新型測試探針的一實(shí)施例中，測試探針20包括由導(dǎo)電材料制成的針筒22、連接于所述針筒22一端的第一針頭21、連接于所述針筒22另一端的第二針頭24、以及為針頭活動(dòng)提供彈力的非螺旋形彈性體23。所述彈性體23裝設(shè)在所述針筒22內(nèi)，所述第一針頭21的內(nèi)端211可活動(dòng)地插設(shè)在所述針筒22內(nèi)，所述第一針頭21的外端212伸出到所述針筒22外，所述第一針頭21的內(nèi)端211與所述彈性體23的一端抵接。