[實用新型]一種基片架翻轉靈活的鍍膜機

有效

• 申請號: 201720290604.3
• 申請日: 2017-03-23
• 公開（公告）號: CN206538470U
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發明（設計）人: 崔海波;李劍輝;張堅
• 申請（專利權）人: 成都南光機器有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司51230
• 代理人: 楊保剛,李春芳

技術領域

本實用新型涉及一種鍍膜機，尤其涉及一種基片架翻轉靈活的鍍膜機。

背景技術

蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來并且沉降在基片表面，通過成膜過程(散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。目前，熱蒸發鍍膜機普遍使用的工件架系統從外形結構來說分為幾大類，傘形(多片式、整體式)、行星式(平面行星式、傘形行星)、平板式(水平、斜面)等。許多鍍膜產品都需要翻轉驅動裝置對基片進行翻轉以實現雙面鍍膜，如申請號為201420570936.3一種可實現真空狀態下自動翻片的翻轉驅動裝置所記載的一樣，由翻轉驅動撥盤和翻轉驅動機構構成，所述翻轉驅動撥盤連接固定于所述翻轉鍍膜治具外沿，翻轉驅動撥盤上開設有至少一個卡槽，卡槽以所述翻轉驅動撥盤的中心為對稱中心對稱排布；翻轉驅動機構安裝于真空鍍膜機，翻轉驅動機構具有至少一根可伸縮的撥桿，撥桿上套裝有撥桿軸承，撥桿軸承的外輪廓尺寸與卡槽的槽口尺寸吻合適配，撥桿可伸出至撥桿軸承與卡槽滾動配合。以上可以看出，現有的基片夾具翻轉系統結構復雜，翻轉極不靈活。

實用新型內容

為解決現有的基片夾具翻轉系統結構復雜、翻轉不靈活的缺陷，本實用新型特提供一種基片架翻轉靈活的鍍膜機。

本實用新型的技術方案如下：

一種基片架翻轉靈活的鍍膜機，包括機架，機架內設置有真空室，真空室上罩設有鐘罩，真空室的上方轉動設置有轉臺，轉臺的臺邊均勻設置有多個支板，支板的背面設置有可轉動的星輪，星輪上連接有星輪軸，星輪軸穿過支板的一端連接有夾架；所述機架上設置有氣缸以及與氣缸活塞桿連接的撥桿，撥桿作用在星輪相鄰的兩個輪齒間。將待鍍膜的基片卡設在夾架上，真空室內被加熱的靶材蒸發后沉降在基片表面，此時撥桿處于收回狀態，不會導致夾架翻轉。待基片的第一面鍍膜完成后，啟動氣缸，氣缸將啟動撥桿使之伸長作用在星輪的相鄰兩個輪齒間。星輪在轉臺的帶動下將往前移動，由于撥桿的位置固定，星輪將實現翻轉。星輪為90°四等分，每次翻轉角度為90°，兩次翻轉即可實現第二面即背面的鍍膜，以上可見，本方案的翻轉系統結構簡單，且翻轉靈活。

為更好地實現本實用新型，所述機架上設置有支撐轉臺旋轉的支撐裝置，轉臺的下端設置有齒圈，機架的側壁上設置有電機以及與電機連接的皮帶輪A，機架上設置有轉桿，轉桿的下端設置有皮帶輪B，皮帶輪B與皮帶輪A通過皮帶傳送，轉桿的上端設置有與齒圈相嚙合的齒輪。本方案與原有翻轉系統相比，驅動方式從箱式鍍膜機頂部中心驅動改為鍍膜機底部側面傳動，結構緊湊，對于貴金屬的熱蒸發鍍膜較為經濟、節約。

進一步地，所述支撐裝置包括支撐座，支撐座的側壁上開設有通孔A，通孔A內設置有軸承A，軸承A中裝配有轉桿A，轉桿A的前端連接有滾輪A，滾輪A位于轉臺的下端。本方案中，設置在轉臺下端面的滾輪A用于支承轉臺的旋轉。

作為本實用新型的優選結構，所述機架上設置有底座，底座上開設有通孔B，通孔B內設置有軸承B，軸承B中轉配有連桿B，連桿B的上端連接有與轉臺側壁接觸的滾輪B。在本方案中，滾輪B的設置用于在水平方向限制轉臺的轉動范圍，以保證轉臺的轉動中心與真空室的室體中心跳動誤差≤2mm。

綜上所述，本實用新型的有益效果是：

1、將待鍍膜的基片卡設在夾架上，真空室內被加熱的靶材蒸發后沉降在基片表面，此時撥桿處于收回狀態，不會導致夾架翻轉。待基片的第一面鍍膜完成后，氣缸將啟動撥桿使之伸長作用在星輪的相鄰兩個輪齒間。星輪在轉臺的帶動下將往前移動，由于撥桿的位置固定，星輪將實現翻轉。星輪為90°四等分，每次翻轉角度為90°，兩次翻轉即可實現第二面即背面的鍍膜，以上可見，本方案的翻轉系統結構簡單，且翻轉靈活。

2、本方案與原有翻轉系統相比，驅動方式從箱式鍍膜機頂部中心驅動改為鍍膜機底部側面傳動，結構緊湊，對于貴金屬的熱蒸發鍍膜較為經濟、節約。

3、本方案中，設置在轉臺下端面的滾輪A用于支承轉臺的旋轉。

4、滾輪B的設置用于在水平方向限制轉臺的轉動范圍，以保證轉臺的轉動中心與真空室的室體中心跳動誤差≤2mm。

附圖說明

圖1為鍍膜機的結構示意圖；

圖2為鍍膜機的剖視圖；

圖3為支撐裝置的結構示意圖；

圖4為底座、滾輪B的結構示意圖；