[實(shí)用新型]金剛線切片機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720266561.5
• 申請(qǐng)日: 2017-03-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206614701U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫明祥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江好亞能源股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/04;B28D7/04
• 代理公司: 嘉興海創(chuàng)專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙)33251
• 代理人: 鄭文濤

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種金剛線切片機(jī)，屬于硅晶片生產(chǎn)用設(shè)備。

背景技術(shù)

所謂金剛線切片機(jī)主要是利用在鋼線上鑲嵌微小顆粒的金剛石，從而做成金剛線，由于金剛線具有了金剛石微型鋸齒，因而金剛線本身具備了切割能力，將金剛線在導(dǎo)線輪上織成金剛線網(wǎng)，然后通過(guò)金剛線網(wǎng)的高速運(yùn)動(dòng)，將晶棒切割成硅晶片的機(jī)器。

現(xiàn)有的金剛線切片機(jī)包括具有切片室的機(jī)架、平行設(shè)置在所述切片室內(nèi)的兩個(gè)導(dǎo)線輪、纏繞在所述的兩導(dǎo)線輪上的金剛線和設(shè)置在所述切片室內(nèi)所述金剛線上方的可上下移動(dòng)的升降臺(tái)，所述升降臺(tái)上設(shè)有可拆卸的粘棒工裝，所述粘棒工裝上粘接有樹(shù)脂板，所述樹(shù)脂板上粘接有晶棒；所述升降臺(tái)上具有沿所述導(dǎo)線輪軸線方向延伸的T型滑槽，所述粘棒工裝上具有適于與所述T型滑槽相配合的T型滑軌，在所述T型滑槽的一側(cè)壁上設(shè)置有鎖緊螺栓，所述鎖緊螺栓的內(nèi)端伸入所述T型滑槽內(nèi)，在將粘棒工裝定位在切片室內(nèi)時(shí)，先將所述T型滑軌插入所述T型滑槽內(nèi)使兩者相配合，然后通過(guò)旋擰鎖緊螺栓將T型滑軌鎖定在T型滑槽內(nèi)部，鎖緊螺栓的數(shù)量為三個(gè)以上。上述現(xiàn)有金剛線切片機(jī)存在的問(wèn)題是，對(duì)粘棒工裝的定位效果一般，在切片過(guò)程中粘棒工裝仍有活動(dòng)可能，不利于保證硅晶片的加工精度。

實(shí)用新型內(nèi)容

對(duì)此，本實(shí)用新型旨在提供一種金剛線切片機(jī)，其結(jié)構(gòu)合理，能有效確保粘棒工裝的鎖定可靠性。

實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的的技術(shù)方案是：

一種金剛線切片機(jī)，包括具有切片室的機(jī)架、平行設(shè)置在所述切片室內(nèi)的兩個(gè)導(dǎo)線輪、纏繞在所述的兩導(dǎo)線輪上的金剛線和設(shè)置在所述切片室內(nèi)所述金剛線上方的可上下移動(dòng)的升降臺(tái)，所述升降臺(tái)上設(shè)有可拆卸的粘棒工裝，所述粘棒工裝上粘接有樹(shù)脂板，所述樹(shù)脂板上粘接有晶棒；所述升降臺(tái)上具有沿所述導(dǎo)線輪軸線方向延伸的T型滑槽，所述粘棒工裝上具有適于與所述T型滑槽相配合的T型滑軌，所述T型滑槽內(nèi)一側(cè)設(shè)置有沿T型滑槽長(zhǎng)度方向延伸的活動(dòng)條，在所述T型滑槽的一側(cè)壁上設(shè)置有鎖緊螺栓，所述鎖緊螺栓的內(nèi)端伸入所述T型滑槽內(nèi)與所述活動(dòng)條相抵，所述T型滑軌與所述T型滑槽插接配合后，通過(guò)旋緊所述鎖緊螺栓帶動(dòng)所述活動(dòng)條移動(dòng)從而將T型滑軌鎖緊在所述T型滑槽內(nèi)；所述T型滑軌兩側(cè)設(shè)有受壓斜面，所述活動(dòng)條和所述T型滑槽內(nèi)一側(cè)設(shè)有分別與兩受壓斜面相對(duì)應(yīng)的抵壓斜面，旋緊所述鎖緊螺栓推動(dòng)所述活動(dòng)條移動(dòng)，進(jìn)而所述抵壓斜面對(duì)所述受壓斜面產(chǎn)生抵壓力將所述T型滑軌鎖緊在所述T型滑槽內(nèi)。

上述技術(shù)方案中，所述晶棒的下端面上粘接有沿晶棒長(zhǎng)度方向延伸的樹(shù)脂條，所述樹(shù)脂條的數(shù)量為兩條，兩條樹(shù)脂條相平行。

上述技術(shù)方案中，所述鎖緊螺栓的數(shù)量至少為兩個(gè)，所述的至少兩個(gè)鎖緊螺栓沿所述T型滑槽長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置。

上述技術(shù)方案中，各導(dǎo)線輪的外側(cè)可拆卸設(shè)置有砂漿遮擋板。

上述技術(shù)方案中，在所述兩導(dǎo)線輪之間所述晶棒的下方可拆卸設(shè)置有過(guò)濾板，所述過(guò)濾板上均布有過(guò)濾孔，所述過(guò)濾孔的孔徑小于2mm，所述過(guò)濾板的周邊具有向上凸起的環(huán)形擋邊。

本實(shí)用新型具有積極的效果：(1)采用本實(shí)用新型中的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒄嘲艄ぱb可靠的定位在升降臺(tái)上，從而防止在切割過(guò)程中粘棒工裝活動(dòng)，進(jìn)而有利于保證硅晶片的加工精度。(2)本實(shí)用新型中通過(guò)在晶棒的下端面上粘接樹(shù)脂條，在切片時(shí)金剛線先接觸并切割樹(shù)脂條，而后才會(huì)切割到晶棒，這樣能有效防止金剛線入刀時(shí)出現(xiàn)輕微打滑的問(wèn)題，從而保證硅晶片的加工質(zhì)量。(3)本實(shí)用新型中通過(guò)設(shè)置砂漿遮擋板，在切片時(shí)飛濺的砂漿會(huì)被砂漿遮擋板所遮擋，避免砂漿飛濺出切片室。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型中金剛線切片機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1中A處的局部放大視圖。

圖中所示附圖標(biāo)記為：1-切片室；2-導(dǎo)線輪；3-金剛線；4-升降臺(tái)；41-T型滑槽；5-粘棒工裝；51-T型滑軌；52-受壓斜面；6-樹(shù)脂板；7-晶棒；71-樹(shù)脂條；8-活動(dòng)條；81-抵壓斜面；9-鎖緊螺栓；10-砂漿遮擋板；11-過(guò)濾板。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖對(duì)本實(shí)用新型中金剛線切片機(jī)的具體結(jié)構(gòu)做以說(shuō)明：