[實用新型]一種直寫式光刻機設備有效
| 申請號： | 201720256842.2 | 申請日： | 2017-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN206741195U | 公開（公告）日： | 2017-12-12 |
| 發明（設計）人： | 陳海巍 | 申請（專利權）人： | 無錫影速半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈爾濱市陽光惠遠知識產權代理有限公司23211 | 代理人： | 張勇 |
| 地址： | 214135 江蘇省無錫市新吳*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 直寫式 光刻 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種直寫式光刻機設備，包括吸盤和多個光路組件；其特征在于，所述光路組件單個與單個之間相對位置固定；所述多個光路組件是覆蓋1/n個吸盤的光路組件，且n大于1。
2.根據權利要求1所述的直寫式光刻機設備，其特征在于，所述n為整數。
3.根據權利要求1或2所述的直寫式光刻機設備，其特征在于，所述n為2～4。
4.根據權利要求1或2所述的直寫式光刻機設備，其特征在于，所述多個光路組件是指含有2個以上的光路組件。
5.根據權利要求1或2所述的直寫式光刻機設備，其特征在于，所述光路組件為DMD組件。
6.根據權利要求1或2所述的直寫式光刻機設備，其特征在于，所述直寫式光刻機設備為超大板直寫式光刻機；吸盤寬度為36英寸以上。
7.根據權利要求6所述的直寫式光刻機設備，其特征在于，所述吸盤寬度為48英寸以上。
8.根據權利要求6所述的直寫式光刻機設備，其特征在于，所述吸盤寬度為55英寸以上。
9.根據權利要求1或2所述的直寫式光刻機設備，其特征在于，所述直寫式光刻機設備還包括對準裝置。
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