[實用新型]一種研磨墊有效
| 申請號： | 201720250622.9 | 申請日： | 2017-03-15 |
| 公開（公告）號： | CN207309693U | 公開（公告）日： | 2018-05-04 |
| 發明（設計）人： | 張文杰;謝慶豐;彭毅萍 | 申請（專利權）人： | 東莞華晶粉末冶金有限公司;廣東勁勝智能集團股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/26 | 分類號： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 深圳新創友知識產權代理有限公司44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 523843 廣東省東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 研磨 | ||
1.一種研磨墊，包括研磨層，其特征在于，所述研磨層的上表層開設有由所述研磨層的中心向外螺旋式延伸的螺旋形槽。
2.如權利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述螺旋形槽的寬度為1.0-3.0mm,深度為0.5-1.5mm,徑向的相鄰槽間距為10-25mm。
3.如權利要求1所述的研磨墊，其特征在于,所述研磨層為圓形，所述研磨層的上表層還開設有由所述研磨層的中心向外發散延伸的一組扇面分割槽，所述扇面分割槽將所述研磨層的上表層分割成多個渦輪扇面形，且使所述螺旋形槽由內自外徑向貫通。
4.如權利要求3所述的研磨墊，其特征在于,所述扇面分割槽的寬度為1.0-3.0mm,深度為0.5-1.5mm。
5.如權利要求3所述的研磨墊，其特征在于,所述研磨層為中空的圓環形，所述螺旋形槽和所述扇面分割槽均自所述研磨層的內圓邊延伸到所述研磨層的外圓邊。
6.如權利要求1至5任一項所述的研磨墊，其特征在于,還包括無紡布緩沖層和基板層，所述無紡布緩沖層通過雙面膠粘接在所述基板層上，所述研磨層設置在所述無紡布緩沖層上。
7.如權利要求6所述的研磨墊，其特征在于,所述無紡布緩沖層為聚酯無紡布層，所述基板層為PC基板。
8.如權利要求7所述的研磨墊，其特征在于,所述無紡布緩沖層的厚度為50-250μm，所述基板層的厚度為250-1000μm，所述研磨層的厚度為200-1000μm，所述雙面膠的厚度為200-280μm。
9.如權利要求7所述的研磨墊，其特征在于,所述研磨層通過樹脂粘結劑粘結在所述無紡布緩沖層上。
10.如權利要求1至5任一項所述的研磨墊，其特征在于,所述研磨層為氮化硼研磨層，所述研磨層中形成有均勻分布的氣泡。
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