[實用新型]上保溫結構及晶體生長設備

有效

• 申請號: 201720224742.1
• 申請日: 2017-03-09
• 公開（公告）號: CN206706252U
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 戎峻;楊勇;陳翼;汪志偉
• 申請（專利權）人: 青海晶煜晶體科技有限公司
• 主分類號: C30B17/00
• 分類號: C30B17/00;C30B29/20
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 劉哲源

1.一種上保溫結構，其特征在于，包括沿上下方向層疊且間隔設置的多個環形熱屏，所述多個環形熱屏同心設置；每層環形熱屏用于將下方輻射來的熱量反射到下方；

自下而上，所述上保溫結構包括溫差部、散熱部和保溫部，所述溫差部包括多個第一環形熱屏，自下而上，所述多個第一環形熱屏的內徑逐漸增大；所述散熱部包括多個第二環形熱屏，所述第二環形熱屏的內徑大于所述多個第一環形熱屏中的任意一個；所述保溫部包括多個第三環形熱屏，所述第三環形熱屏的內徑小于所述多個第一熱屏中的任意一個。

2.根據權利要求1所述的上保溫結構，其特征在于，所述多個第二環形熱屏的內徑相等。

3.根據權利要求2所述的上保溫結構，其特征在于，所述多個第三環形熱屏的內徑相等。

4.根據權利要求3所述的上保溫結構，其特征在于，所述第一環形熱屏的數量為五個，且自上而下，所述多個第一環形熱屏的內徑依次為60、70、80、90、100mm；所述第二環形熱屏的內徑為150mm；所述第三環形熱屏的內徑為55mm。

5.根據權利要求1所述的上保溫結構，其特征在于，所述上保溫結構包括由多個環形熱屏疊加形成的坩堝蓋屏和上熱屏，所述坩堝蓋屏固定在坩堝開口，所述上熱屏扣掛在所述坩堝蓋屏上方，且所述上熱屏的下底面與坩堝蓋屏的上頂面之間存在間隙。

6.根據權利要求5所述的上保溫結構，其特征在于，自所述上熱屏下底面向上，依次設置有多個第二環形熱屏，自所述坩堝蓋屏上頂面向下，依次設置有多個第二環形熱屏，以使所述上熱屏扣掛在所述坩堝蓋屏上方時，形成散熱部。

7.根據權利要求5所述的上保溫結構，其特征在于，所述坩堝蓋屏上任意相鄰兩個所述環形熱屏之間設置有支撐件。

8.根據權利要求5所述的上保溫結構，其特征在于，所述上熱屏上開設有觀察孔，所述觀察孔用于觀察坩堝內晶體的生長情況，所述觀察孔與豎直方向的夾角小于等于9°。

9.根據權利要求7所述的上保溫結構，其特征在于，所述上保溫結構包括多根固定桿，多個所述環形熱屏插接在所述固定桿上，所述固定桿上設置有螺紋，且每個所述環形熱屏與所述固定桿的連接處下方設置有螺母，所述螺母用于托住所述環形熱屏。

10.一種晶體生長設備，其特征在于，包括權利要求1-9任意一項所述的上保溫結構。