[實用新型]一種全自動化的掃描電子顯微鏡

有效

• 申請號: 201720192828.0
• 申請日: 2017-03-01
• 公開（公告）號: CN206480587U
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: 李帥;何偉;齊少爭;王瑞平
• 申請（專利權）人: 聚束科技（北京）有限公司
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/28;H01J37/20;G01N23/22
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司11270
• 代理人: 高潔,姚開麗

1.一種全自動化的掃描電子顯微鏡，包括由第一光學顯微鏡和平移臺構成的光學導航系統，以及由電子源和電子光學鏡筒構成的掃描電子顯微鏡裝置，其特征在于，

所述光學導航系統還包括：位于所述第一光學顯微鏡下方且與所述平移臺相連的、容納待測樣品進行光學探測的第一腔室；

所述掃描電子顯微鏡裝置還包括：位于所述電子光學鏡筒下方的、容納待測樣品進行掃描電子顯微鏡探測的第二腔室；

所述第一腔室與第二腔室之間通過真空閥門水平連通或隔絕；所述第一腔室內設置有能將待測樣品從第一腔室通過所述真空閥門移動到所述第二腔室的自動傳送裝置。

2.根據權利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述第一腔室的頂部設置有允許所述第一光學顯微鏡的照明光束和成像光束通過的第一觀察窗；所述第一腔室的側壁設有允許待測樣品進出的換樣門。

3.根據權利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述第二腔室內設有承載并控制待測樣品在水平、豎直方向移動的樣品臺；所述樣品臺上設有固定所述待測樣品的自動固定裝置。

4.根據權利要求3所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述第二腔室內還包括：設置于所述樣品臺上方的、實時測量待測樣品表面高度的自動聚焦跟蹤系統。

5.根據權利要求2所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述自動傳送裝置設置于所述第一腔室的換樣門上。

6.根據權利要求5所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述自動傳送裝置包括：固定于所述換樣門上的第一可伸縮傳送臂，以及連接在所述第一可伸縮傳送臂另一端的承載待測樣品的第一樣品托。

7.根據權利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述自動傳送裝置通過一豎直方向的轉軸設置于所述第一腔室內。

8.根據權利要求7所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述自動傳送裝置包括：一端固定于所述轉軸且圍繞轉軸在水平方向旋轉的第二可伸縮傳送臂，以及連接在所述第二可伸縮傳送臂另一端的承載待測樣品的第二樣品托。

9.根據權利要求1-8中任一項所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于，所述第二腔室上方還設有第二光學顯微鏡，所述第二腔室頂部與所述第二光學顯微鏡在豎直方向相對的位置設有允許光束傳輸的第二觀察窗。