[實用新型]一種用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置有效
| 申請號: | 201720185198.4 | 申請日: | 2017-02-28 |
| 公開(公告)號: | CN206558480U | 公開(公告)日: | 2017-10-13 |
| 發明(設計)人: | 周艷方;陳泉陽;李令先;蔣秀林;尹海鵬;單偉 | 申請(專利權)人: | 晶澳(揚州)太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 廣州知友專利商標代理有限公司44104 | 代理人: | 李海波,劉艷麗 |
| 地址: | 225131 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 無主 太陽能電池 探針 測試 裝置 | ||
1.一種用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置,其特征是:包括探針排,所述探針排包括探針排架和若干可伸縮的探針組,每個可伸縮的探針組包括至少一根電流探針和一根電壓探針,所述若干可伸縮的探針組的下方設有探針頭或導電條。
2.根據權利要求1所述的用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置,其特征是:所述可伸縮的探針組的數量為5~30組。
3.根據權利要求1所述的用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置,其特征是:每個可伸縮探針組的下方設有一個探針頭,所述探針頭的形狀為Z型結構,相鄰兩探針頭之間具有使所述無主柵太陽能電池上任何一根細柵都能與所述探針頭相接觸的重疊部分。
4.根據權利要求3所述的用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置,其特征是:Z型結構探針頭的長度為3~30mm,寬度為2~10mm。
5.根據權利要求3所述的用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置,其特征是:Z型結構探針頭與所述無主柵太陽能電池的細柵的接觸面為刀刃型、鋸口型或波紋型。
6.根據權利要求1所述的用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置,其特征是:所述導電條為具有彈性的導電體,所述具有彈性的導電體包括彈性體、導電線和粘接材料。
7.根據權利要求6所述的用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置,其特征是:所述彈性體為橡膠、樹脂或硅膠,所述導電線為包裹金涂層的銅絲、銀絲或合金,所述粘接材料為聚氨酯、硅膠或環氧樹脂。
8.根據權利要求6所述的用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置,其特征是:所述導電條的截面為圓形、橢圓形、矩形或梯形,所述導電條的長度為50~300mm,寬度為1~10mm。
9.根據權利要求1-8任一項所述的用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置,其特征是:每個可伸縮的探針組包括兩根電流探針和一根電壓探針,其中兩邊為電流探針,中間為電壓探針。
10.根據權利要求9所述的用于無主柵太陽能電池的探針測試裝置,其特征是:每根電流探針和每根電壓探針的外部均設有可伸縮探針套筒。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





