[實(shí)用新型]一種14英寸砷化鎵單晶爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720170547.5
• 申請(qǐng)日: 2017-02-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207452293U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 易德福;守建川
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江西德義半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B11/00
• 分類(lèi)號(hào): C30B11/00;C30B29/42
• 代理公司: 蘇州國(guó)誠(chéng)專(zhuān)利代理有限公司 32293
• 代理人: 韓鳳

1.一種14英寸砷化鎵單晶爐，其特征在于：包括14英寸爐膛、2英寸PBN組件、保溫棉、爐芯、石英管、環(huán)形加熱片、封蓋；

所述14英寸爐膛呈圓筒狀，所述14英寸爐膛內(nèi)沿其高度方向分為3-10段溫場(chǎng)，所述3-10段溫場(chǎng)的區(qū)域內(nèi)設(shè)有多個(gè)溫控點(diǎn)，所述石英管設(shè)置在14英寸爐膛內(nèi)的底部，所述爐芯設(shè)置在石英管內(nèi)，所述石英管與爐芯之間設(shè)有保溫棉，所述環(huán)形加熱片固定在14英寸爐膛的內(nèi)壁上，并且環(huán)形加熱片靠近石英管的一面呈鋸齒狀，所述2英寸PBN組件整體呈圓柱狀，其底部呈漏斗狀，安裝在石英支撐內(nèi)部，所述封蓋設(shè)置在14英寸爐膛的頂部開(kāi)口處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的14英寸砷化鎵單晶爐，其特征在于：溫控點(diǎn)的數(shù)量為21-35個(gè)，3-10段溫場(chǎng)的上段區(qū)域內(nèi)均勻分布有3-10個(gè)溫控點(diǎn)，3-10溫場(chǎng)的中段區(qū)域內(nèi)均勻分布有15個(gè)溫控點(diǎn)，3-10段溫場(chǎng)的下段區(qū)域內(nèi)均勻分布有3-10個(gè)溫控點(diǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的14英寸砷化鎵單晶爐，其特征在于：所述2英寸PBN組件的數(shù)量為13個(gè)，以3-2-3-2-3的任意排列方式均勻排列。