[實用新型]用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐

有效

• 申請號: 201720167639.8
• 申請日: 2017-02-24
• 公開（公告）號: CN206599605U
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發明（設計）人: 張衛衛;王孟孟;朱家寬;劉杰鵬;高錦龍
• 申請（專利權）人: 旭科新能源股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/06;H01L31/18;F27B17/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350
• 代理人: 林燕輝

1.用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐，其特征是，包括導流件、吊裝法蘭、隔熱屏、坩堝、導流加熱器、坩堝加熱器；所述隔熱屏設在導流件和坩堝外圍，所述導流件為管狀空心結構，坩堝是具有一開口的罐狀容器，導流件與坩堝通過開口相連通，所述導流件的側壁設有可透射物料的噴孔；所述導流加熱器設置在導流件外圍，所述導流加熱器設置通過具有絕緣性的固定環設置在導流件與隔熱屏之間；所述坩堝加熱器設置在坩堝外圍，所述坩堝加熱器設置設置在坩堝與隔熱屏之間；所述隔熱屏側壁設有對應噴孔的通道，所述吊裝法蘭將導流件與隔熱屏組裝固定。

2.如權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐，其特征是：還包括噴頭，所述噴頭呈喇叭口型，噴頭設置在通道內對應噴孔設置。

3.如權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐，其特征是：所述導流件與坩堝螺紋連接，所述導流件與坩堝的密封面呈刀口狀，導流件與坩堝的密封面之間設有密封件，密封件為石墨材料。

4.如權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐，其特征是：所述噴孔的孔徑為0.5至12mm，所述噴孔的數量是1至50個。

5.如權利要求2所述的用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐，其特征是：各噴孔的孔徑大小不一，噴孔之間的間距不等。

6.如權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐，其特征是：所述導流加熱器和坩堝加熱器均包括加熱體和導流加熱器電極，加熱體連接導流加熱器電極，所述導流加熱器與導流件采用螺絲連接，所述螺絲為石墨、鉭、鉬材料中的任一一種。

7.如權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐，其特征是：隔熱屏包括設置在導流件外圍的導流件隔熱屏、設置在坩堝外圍的坩堝隔熱屏，所述導流件隔熱屏與坩堝隔熱屏相拼接，所述導流件隔熱屏包括若干層隔熱片，若干層的隔熱片由內向外相互套設，各隔熱片之間具有間隙距離。

8.如權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐，其特征是：所述隔熱屏、坩堝均采用石墨、鉭、鉬材料中的任一一種或其相互組合。

9.如權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐，其特征是：還包括水冷管道，所述水冷管道設置在隔熱屏的最外層，所述水冷管道是采用不銹鋼板材焊接在隔熱屏最外層的外側。

10.如權利要求7所述的用于薄膜太陽能電池制造的高溫蒸發爐，其特征是：所述隔熱片呈圓管狀，所述隔熱片包括大半圓片和小半圓片，大半圓片和小半圓片相拼合組成單個隔熱片，各層隔熱片在設置時其拼接線呈左右交錯設置。