[實用新型]一種晶體加工用水循環(huán)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720141299.1
• 申請日: 2017-02-16
• 公開（公告）號: CN206599451U
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發(fā)明（設計）人: 甘大元;陳文杰;唐珊珊;劉坤;丁小玉
• 申請（專利權）人: 山東大海新能源發(fā)展有限公司
• 主分類號: C02F1/00
• 分類號: C02F1/00;B28D7/00
• 代理公司: 濟南千慧專利事務所(普通合伙企業(yè))37232
• 代理人: 蘇金鋒

技術領域：

本實用新型涉及晶體處理設備領域，尤其是一種晶體加工用水循環(huán)裝置。

背景技術：

在單晶硅或多晶硅進行加工的過程中通常需要進行多步加工工序才能得到所需產(chǎn)品。在加工時經(jīng)過涂膠切片后的單晶硅或多晶硅會被運送至后續(xù)的加工設備上進行后續(xù)的工序處理，通常會在脫膠機、擦片機、清洗機等設備上進行脫膠、擦片、清洗等工序，進行上述工序時耗水量很大，因此目前對上述工序處理加工通常需要提前準備好水源并需要長時間保持水源供水充足，只有這樣才能保證最終得到的產(chǎn)品的質(zhì)量。但是，在現(xiàn)在水資源較為緊缺的現(xiàn)狀下，采用這種現(xiàn)有的加工方式不僅會造成大量的水資源浪費而且在很多情況下因加工時廠房內(nèi)無法長時間保證良好水資源的供給，因而會使加工處理的過程中無法安全有效的保證供水量，從而會導致加工出來的產(chǎn)品質(zhì)量差、加工效率低。目前各個步驟所使用完的水在使用完以后通常水質(zhì)會變很差，因此現(xiàn)有的設備在進行完本步工序的處理之后就直接將污水通過排水管道排出，這樣不僅會造成水資源的浪費而且隨意排放污水還會造成大量的水污染，顯然現(xiàn)有的水循環(huán)裝置無法更有效地滿足人們的需求。

實用新型內(nèi)容：

本實用新型提供了一種晶體加工用水循環(huán)裝置，它結構簡單，設計合理，在進行各步工序處理時所需水量相對較少，且各加工工序之間所用的水源可進行循環(huán)利用，同時本裝置可對經(jīng)上一步處理工序使用完的污水進行清污除雜之后被運送至下一工序處理設備上供其使用，各工序時間的水源可以形成循環(huán)，在內(nèi)部循環(huán)水源造成少量水量流失后，供水泵可以將外部水源對其進行適當補充，只需定期補給，無需長時間、大水量的進行供給，降低了對加工車間內(nèi)水源供應水平的要求，節(jié)省了大量水源，可通過定期的對第一過濾器、第二過濾器進行清理后去除其中積累的雜質(zhì)來保證水質(zhì)的相對清潔，同時最終經(jīng)排污管道排出的水的質(zhì)量相對于傳統(tǒng)設備有一定的提高，更加環(huán)保、有效，更有效地滿足了人們的需求，解決了現(xiàn)有技術中存在的問題。

本實用新型為解決上述技術問題所采用的技術方案是：一種晶體加工用水循環(huán)裝置，包括一硅片脫膠池，在硅片脫膠池的左側下部設有一通過管道與硅片擦洗池左側下部相連通的脫膠排水口，在硅片脫膠池與硅片擦洗池之間的管道上依次設有一第一過濾器、第一泵體，在硅片擦洗池的右側底部設有通過管道與硅片清洗池上部相連通的擦片排水口，所述硅片清洗池的空腔自左向右依次由隔板分割為互不連通的前清洗池、中部清洗池與后清洗池，前清洗池通過管道與污水池上部相連通設置，中部清洗池通過管道與硅片脫膠池相連通設置，在中部清洗池與硅片脫膠池相連通設置的管道上依次設有一第二過濾器、第二泵體，后清洗池通過回流管與第二過濾器、第二泵體之間的管道相連通，在第二過濾器的過濾網(wǎng)的右側設有一通過管道與污水池相連通設置的排渣管，硅片脫膠池、硅片擦洗池以及硅片清洗池的前清洗池、中部清洗池、后清洗池分別通過供水管與一供水池相連通設置，在供水池的一側設有一與水源連通的供水泵，在各供水管上分別設有一閥門，在硅片擦洗池與硅片擦洗池相連通的管道上依次設有一第三過濾器、第三泵體；第一泵體、第二泵體、第三泵體、供水泵分別通過導線與外部電源相連通設置。

所述硅片脫膠池的空腔底部向中心傾斜設置，在硅片脫膠池的空腔底部的通孔內(nèi)活動密封配合連接一旋轉軸，在硅片脫膠池的空腔內(nèi)的旋轉軸頂部固連一底部刷毛與空腔底部相抵接的毛刷，在硅片脫膠池外部的旋轉軸外側壁上固連一曲柄，在與毛刷相對一側的硅片脫膠池的空腔底部設有一與空腔連通的排污管，在排污管的底部開口處密封插裝一密封塞。

在與排渣管相對的第二過濾器的前側壁上通過管道連接一排渣泵體。

在硅片脫膠池、硅片擦洗池以及硅片清洗池的前清洗池、中部清洗池、后清洗池的空腔側壁上分別自上而下設有一上限水位標、下限水位標。

本實用新型所具有的有益效果是，結構簡單，設計合理，在進行各步工序處理時所需水量相對較少，且各加工工序之間所用的水源可進行循環(huán)利用，同時本裝置可對經(jīng)上一步處理工序使用完的污水進行清污除雜之后被運送至下一工序處理設備上供其使用，各工序時間的水源可以形成循環(huán)，在內(nèi)部循環(huán)水源造成少量水量流失后，外部水源會對其進行適當補充，無需長時間大水量的進行供給，降低了對加工車間內(nèi)水源供應水平的要求，節(jié)省了大量水源，同時最終經(jīng)排污管道排出的水的質(zhì)量相對于傳統(tǒng)設備有一定的提高，更加環(huán)保、有效，更有效地滿足人們的需求。

附圖說明：

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型中硅片脫膠池的放大結構示意圖。