[實(shí)用新型]一種高真空質(zhì)量流量計(jì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720086835.2
• 申請(qǐng)日: 2017-01-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206496794U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘驍;寧揚(yáng)忠;倪周博;韓亮;曾學(xué)兵;黎敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都安迪生精測(cè)科技有限公司
• 主分類號(hào): G01F1/86
• 分類號(hào): G01F1/86
• 代理公司: 成都九鼎天元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司51214
• 代理人: 韓雪

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及流量測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種高真空質(zhì)量流量計(jì)。

背景技術(shù)

目前，用于深冷行業(yè)的質(zhì)量流量計(jì)的隔熱為在測(cè)量管與罩殼之間填充有保溫隔熱材料，而這種用于深冷行業(yè)的質(zhì)量流量計(jì)長(zhǎng)期在低溫工況下使用，質(zhì)量流量計(jì)的表面容易結(jié)冰，質(zhì)量流量計(jì)外部震動(dòng)及傳感器自身震動(dòng)發(fā)生改變都會(huì)影響其測(cè)量精度，因此就會(huì)影響其計(jì)量性能，降低流量計(jì)的測(cè)量精度，降低質(zhì)量流量計(jì)的精準(zhǔn)性，同時(shí)質(zhì)量流量計(jì)的使用壽命也較短。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述質(zhì)量流量計(jì)存在的不足，本實(shí)用新型的技術(shù)目的在于提供一種用于深冷行業(yè)的高真空質(zhì)量流量計(jì)。

本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

本實(shí)用新型的高真空質(zhì)量流量計(jì)，包括經(jīng)過(guò)預(yù)排氣處理的測(cè)量管及設(shè)于測(cè)量管外且經(jīng)過(guò)預(yù)排氣處理的罩殼，所述測(cè)量管與罩殼形成真空腔，所述測(cè)量管與罩殼之間的真空腔的真空度至少達(dá)到3.0e-3Pa，所述測(cè)量管的一端連接有進(jìn)液管，所述測(cè)量管的另一端連接有出液管，所說(shuō)進(jìn)液管及出液管均經(jīng)過(guò)預(yù)排氣處理，預(yù)排氣處理是通過(guò)真空釬焊爐加熱，并對(duì)材料保溫，達(dá)到除真空排氣處理，使金屬材料殘存內(nèi)氣體排出金屬體外。

本實(shí)用新型的高真空質(zhì)量流量計(jì)，所述流量計(jì)內(nèi)管與罩殼之間的真空區(qū)域內(nèi)設(shè)有低溫吸附劑。

本實(shí)用新型的高真空質(zhì)量流量計(jì)，所述低溫吸附劑為兩個(gè)，分別設(shè)于流量計(jì)內(nèi)管的兩端。

本實(shí)用新型的高真空質(zhì)量流量計(jì)，所述低溫吸附劑設(shè)于燒結(jié)濾網(wǎng)內(nèi)部，所述燒結(jié)濾網(wǎng)通過(guò)氬弧焊焊接在測(cè)量管或罩殼上。

本實(shí)用新型的高真空質(zhì)量流量計(jì)，所述罩殼上設(shè)有真空密封裝置。

本實(shí)用新型的高真空質(zhì)量流量計(jì)，所述真空密封裝置包括閥芯、第一密封圈、真空保護(hù)罩及閥座，所述閥座為筒形，閥座一端設(shè)于罩殼本體上，閥座的另一端開(kāi)口的內(nèi)壁設(shè)有錐面，所述閥芯為柱形，閥芯的外圓柱面上設(shè)有用于安裝第一密封圈的凹槽，第一密封圈與閥座內(nèi)壁形成密封，閥芯外端部設(shè)有與錐面配合的凸起部，所述閥座外部設(shè)有將閥座罩住的真空保護(hù)罩。

本實(shí)用新型的高真空質(zhì)量流量計(jì)，所述真空保護(hù)罩與閥座之間設(shè)有使得真空保護(hù)罩與閥座之間密封的第二密封圈。

本實(shí)用新型的高真空質(zhì)量流量計(jì)，所述閥座與第二密封圈配合安裝的外圓柱面及閥座與第一密封圈配合安裝的內(nèi)圓柱面的粗糙度小于或等于0.8。

本實(shí)用新型的有益效果是:

通過(guò)對(duì)質(zhì)量流量計(jì)的罩殼及內(nèi)管進(jìn)行預(yù)排氣處理，并且使得流量計(jì)內(nèi)管與罩殼之間的真空度至少達(dá)到3.0e-3Pa，從而在流量計(jì)內(nèi)管與罩殼之間形成高真空，從而能夠使得真空質(zhì)量流量計(jì)能夠長(zhǎng)期在深冷工況下使用，大大降低表面結(jié)冰程度，使得流量計(jì)的震動(dòng)模態(tài)在使用過(guò)程中保持一致，進(jìn)一步保證質(zhì)量流量計(jì)性能更加穩(wěn)定可靠，提升其測(cè)量精度，也提升了質(zhì)量流量計(jì)的使用外觀；通過(guò)增加的低溫吸附劑，能夠使得流量計(jì)內(nèi)部的真空度的真空狀態(tài)維持10年以上，大大提高質(zhì)量流量計(jì)在深冷行業(yè)的使用壽命。

附圖說(shuō)明

圖1是高真空質(zhì)量流量計(jì)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是真空密封裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中標(biāo)記：1為測(cè)量管、2為罩殼、3為低溫吸附劑、4為真空密封裝置、41為閥芯、42為第一密封圈、43為第二密封圈、44為真空保護(hù)罩、45為閥座、46為錐面、47為凸起部、48為卡槽、49為凸環(huán)、5為檢測(cè)線圈、6為激勵(lì)線圈、7為進(jìn)液管、8為出液管、9為固定塊。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)描述。