[實用新型]集成電路的外觀檢測裝置

有效

• 申請號: 201720057621.2
• 申請日: 2017-01-17
• 公開（公告）號: CN206490045U
• 公開（公告）日: 2017-09-12
• 發明（設計）人: 陳贊仁;郭中一;林揚程;凃俊銘;張中平
• 申請（專利權）人: 東捷科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006
• 代理人: 梁揮,祁建國

1.一種集成電路的外觀檢測裝置，用以檢測一料盤的多個集成電路，其特征在于，包括：

一直線移動系統；

一取料及旋轉系統，連接該直線移動系統，且吸取該料盤上至少兩個集成電路，其中，該直線移動系統帶動該取料及旋轉系統做直線移動，被吸取的該些集成電路隨該取料及旋轉系統直線移動而產生水平旋轉；及

一拍攝系統，拍攝該些集成電路的外觀影像。

2.根據權利要求1所述的集成電路的外觀檢測裝置，其特征在于，該取料及旋轉系統包括多個從動齒輪組、多個吸嘴及一直的齒條，該些從動齒輪組分別連接該直線移動系統，該些吸嘴一對一連接該些從動齒輪組，且吸取該些集成電路，該些從動齒輪組與該直的齒條嚙合。

3.根據權利要求1所述的集成電路的外觀檢測裝置，其特征在于，該取料及旋轉系統包括一馬達、一主動齒輪組、多個從動齒輪組及多個吸嘴，該馬達連接該直線移動系統，且驅動該主動齒輪組旋轉，該些從動齒輪組分別連接該直線移動系統，且相鄰的該從動齒輪組相互嚙合，該些吸嘴一對一連接該些從動齒輪組，且吸取該些集成電路，該主動齒輪組與該些從動齒輪組的其中一者嚙合。

4.根據權利要求2或3所述的集成電路的外觀檢測裝置，其特征在于，該些吸嘴的間距與該料盤的該些集成電路的間距相同。

5.根據權利要求1所述的集成電路的外觀檢測裝置，其特征在于，該取料及旋轉系統吸取該些集成電路的頂面，該拍攝系統包括多個影像感測器，該些影像感測器沿著該些集成電路被移動路徑配置，且垂直拍攝該些集成電路的側面及底面影像。