[實用新型]基于梳狀柵格的MOEMS無線振動傳感器有效
| 申請號： | 201720057167.0 | 申請日： | 2017-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN206440379U | 公開（公告）日： | 2017-08-25 |
| 發明（設計）人： | 李亦佳;蔣善超;隋青美;王靜;田長彬;向力為 | 申請（專利權）人： | 山東大學;鹽城工學院 |
| 主分類號： | G01H9/00 | 分類號： | G01H9/00;G08C17/02 |
| 代理公司： | 濟南圣達知識產權代理有限公司37221 | 代理人： | 張勇 |
| 地址： | 250061 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 柵格 moems 無線 振動 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于梳狀柵格的MOEMS無線振動傳感器，其特征是，包括：微型光源、傳輸光纖、準直器、振動敏感源、光電轉換模塊、數據分析模塊和無線傳輸模塊；
所述微型光源通過傳輸光纖與振動敏感源連接，在所述振動敏感源的兩側分別固定有準直器，所述振動敏感源的輸出端通過傳輸光纖與光電轉換模塊連接，光電轉換模塊與數據分析模塊、無線傳輸模塊依次連接。
2.如權利要求1所述的一種基于梳狀柵格的MOEMS無線振動傳感器，其特征是，所述振動敏感源包括梳狀柵格、保護框架及準直螺紋孔；所述梳狀柵格隨外界振動而上下浮動，所述保護框架設置在梳狀柵格的外側，所述準直螺紋孔設置在保護框架上用于與準直設備連接。
3.如權利要求1所述的一種基于梳狀柵格的MOEMS無線振動傳感器，其特征是，所述光電轉換設備包括依次串聯連接的光電轉換元件、放大電路和濾波電路。
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