[實用新型]一種溫度可控的碳化硅生長坩堝平臺

有效

• 申請號: 201720036334.3
• 申請日: 2017-01-12
• 公開（公告）號: CN206512319U
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 梁慶瑞;高超;宗艷民;于國建;張紅巖
• 申請（專利權）人: 山東天岳晶體材料有限公司
• 主分類號: C30B29/36
• 分類號: C30B29/36;C30B35/00
• 代理公司: 濟南舜源專利事務所有限公司37205
• 代理人: 苗峻

技術領域

本申請涉及碳化硅生產技術領域，具體為一種溫度可控的碳化硅生長坩堝平臺。

背景技術

人造碳化硅通常是在坩堝中進行生產的，坩堝是通過石墨平臺進行支撐的，石墨平臺起到均熱作用，在碳化硅生長過程中，需要對坩堝進行加熱，但是一般的碳化硅生長坩堝都是直接在坩堝上通電使之加熱，這種加熱方式容易使坩堝能夠在短時間內溫度驟升，使得坩堝內的溫度難以控制。

另外，當加熱結束后，由于石墨平臺依然處于溫度較高的狀態，難以使得坩堝內的溫度在短時間內降下來，這也造成了碳化硅生長過程中的溫度難控問題。

基于上述問題，設計發明一種新型的碳化硅生長坩堝平臺就顯得尤為必要。

發明內容

為了克服現有技術中的缺陷，本申請提供了一種新型的碳化硅生長坩堝平臺，該裝置通過在石墨平臺上的坩堝槽內鋪設石墨氈，石墨氈內部均勻分布有電阻絲，電阻絲的端部裸露在石墨氈外部，加熱時，直接在石墨氈上通電加熱，使得石墨氈發熱，從而進一步加熱坩堝。這樣設置，避免了直接給坩堝通電，而造成糊鍋等問題。另一方面，為了能夠使得加熱結束后，石墨平臺能夠在短時間內溫度下降，在石墨槽對應的石墨平臺底部，設置了風扇，風扇可以吹散石墨平臺的熱量，使得石墨坩堝中的溫度迅速下降。

為了實現上述目的，本申請采取的技術方案如下：

一種溫度可控的碳化硅生長坩堝平臺，包括長方體形石墨平臺，所述的長方體形石墨平臺上開設有坩堝槽，且坩堝槽凹陷在長方體形石墨平臺內部，開口與長方體形石墨平臺的上表面平齊；所述的坩堝槽內鋪設石墨氈，且石墨氈內部均勻分布有電阻絲，電阻絲的端部裸露在石墨氈的外部，碳化硅生長坩堝放置在坩堝槽內部，其外表面與裸露的電阻絲端部相接；所述的長方體形石墨平臺底部設置有風扇開關；

所述的石墨氈外部設置有通電按鈕；

所述的石墨平臺放置在不銹鋼底座上，風扇位于不銹鋼底座內部，且受到風扇開關的控制；

使用時，將碳化硅生長坩堝放置在坩堝槽內，啟動通電按鈕，開設對石墨氈加熱，進而加熱坩堝，石墨氈的設置，使得生長坩堝能夠受熱均勻，在各個方向及位點上，都能受熱，避免了因局部受熱而導致的晶型突變問題。當需要降溫時，啟動風扇開關4，使風扇運轉，吹散石墨平臺的熱量，即可使得坩堝內的溫度迅速下降。

綜上所述，該裝置設置了石墨氈，在石墨氈上通電加熱，使得坩堝受熱均勻；另外，在石墨平臺底部設置風扇，需要降溫時，啟動風扇，能夠使得坩堝內的溫度迅速下降。該碳化硅生長坩堝平臺能夠使得碳化硅在長晶過程中，受熱均勻，且迅速冷卻。

附圖說明

圖1為一種溫度可控的碳化硅生長坩堝平臺主視示意圖；

圖2為一種溫度可控的碳化硅生長坩堝平臺俯視示意圖；

圖3位圖1中A-A剖視圖；

附圖標記

圖中1為坩堝槽，2為長方體形石墨平臺，3為不銹鋼底座，4為風扇開關，5為電阻絲，6為石墨氈，7為坩堝，8為通電鈕，9位風扇。

具體實施例

實施例1

一種溫度可控的碳化硅生長坩堝平臺，包括長方體形石墨平臺2，所述的長方體形石墨平臺2上開設有坩堝槽1，且坩堝槽1凹陷在長方體形石墨平臺2內部，開口與長方體形石墨平臺2的上表面平齊；所述的坩堝槽1內鋪設石墨氈6，且石墨氈6內部均勻分布有電阻絲5，電阻絲5的端部裸露在石墨氈6的外部，碳化硅生長坩堝7放置在坩堝槽1內部，其外表面與裸露的電阻絲端部相接；所述的長方體形石墨平臺2底部設置有風扇開關4；

所述的石墨氈6外部設置有通電按鈕8；

所述的石墨平臺放置在不銹鋼底座3上，風扇9位于不銹鋼底座3內部，且受到風扇開關4的控制；

使用時，將碳化硅生長坩堝放置在坩堝槽內，啟動通電按鈕8，開設對石墨氈加熱，進而加熱坩堝，石墨氈的設置，使得生長坩堝能夠受熱均勻，在各個方向及位點上，都能受熱，避免了因局部受熱而導致的晶型突變問題。當需要降溫時，啟動風扇開關4，使風扇運轉，吹散石墨平臺的熱量，即可使得坩堝內的溫度迅速下降。

綜上所述，該裝置設置了石墨氈，在石墨氈上通電加熱，使得坩堝受熱均勻；另外，在石墨平臺底部設置風扇，需要降溫時，啟動風扇，能夠使得坩堝內的溫度迅速下降。該碳化硅生長坩堝平臺能夠使得碳化硅在長晶過程中，受熱均勻，且迅速冷卻。