[實用新型]一種單晶爐機架水平調節機構

有效

• 申請號: 201720026929.0
• 申請日: 2017-01-11
• 公開（公告）號: CN206385273U
• 公開（公告）日: 2017-08-08
• 發明（設計）人: 楊向東;李玉平;侯利偉;李曉
• 申請（專利權）人: 新鄉市神舟晶體科技發展有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350
• 代理人: 湯東鳳

技術領域

本實用新型涉及單晶爐領域，尤其涉及一種單晶爐機架水平調節機構。

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，并使用直拉法生長無錯位單晶的設備。現有的單晶爐主要由提拉頭、副室、爐蓋、爐筒、下爐筒、機架、坩堝下傳動裝置和熱場等組成。熱場包括壓環、保溫蓋、保溫罩、石墨坩堝、石英坩堝、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、螺栓等。單晶爐在使用過程中，為保證生產出的晶棒的質量，應當保證單晶爐安裝的水平精度。但是單晶爐在使用一段時間后機架可能發生形變，導致單晶爐安裝的水平精度失準，造成晶棒質量降低，引發企業損失。而單晶爐整體重量較大，且拆卸組裝十分繁瑣，若將單晶爐整體拆卸再更換或調整機架水平度，可能造成單晶爐內部的石墨坩堝和石英坩堝等易碎部件損壞，因此現有的單晶爐機架水平調節較為困難。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種單晶爐機架水平調節機構，能夠快速、無損且省力地進行單晶爐機架水平調節，調節精度高。

本實用新型采用下述技術方案：

一種單晶爐機架水平調節機構，包括回字形金屬框體，回字形金屬框體內具有由外側四個面板、內側四個面板和框體底板圍成的回字形容納空間，回字形金屬框體上部敞口設置，回字形容納空間內設置有四個機架水平度調節裝置，四個機架水平度調節裝置分別設置在回字形容納空間的四角，回字形金屬框體的四角還設置有頂升機構安裝板，頂升機構安裝板上豎直設置有頂升機構，頂升機構的活動端設置有單晶爐機架卡板，金屬框體前側和后側的外側面板的左右兩端均設置有機架水平度調節裝置調節通孔；

機架水平度調節裝置包括底部固定座、上部移動座和牽引螺桿，底部固定座包括固定座底板，固定座底板的左端豎直設置有牽引螺桿限位板，牽引螺桿限位板中部設置有牽引螺桿通過孔，固定座底板的前端和后端平行設置有前條形凸臺和后條形凸臺，前條形凸臺和后條形凸臺的上端面均傾斜設置，且前條形凸臺和后條形凸臺的上端面靠近牽引螺桿限位板的一端高度高于前條形凸臺和后條形凸臺的上端面遠離牽引螺桿限位板的一端；上部移動座采用U字形移動座，上部移動座的上端面水平設置，上部移動座的下端面傾斜設置，且上部移動座的下端面斜率與前條形凸臺和后條形凸臺的上端面斜率相匹配；U字形移動座包括前移動塊、連接塊和后移動塊，連接塊的前后兩端分別與前移動塊和后移動塊的左端連接，前移動塊和后移動塊之間形成牽引螺桿容納腔；連接塊的中部設置有牽引螺桿螺紋孔；牽引螺桿穿過牽引螺桿通過孔和牽引螺桿螺紋孔設置，牽引螺桿上還固定有兩個牽引螺桿限位環，兩個牽引螺桿限位環分別設置于牽引螺桿限位板兩側，牽引螺桿通過牽引螺桿螺紋孔與上部移動座螺紋連接；牽引螺桿的前端設置在機架水平度調節裝置調節通孔內。

所述的頂升機構采用液壓缸，液壓缸活塞桿的活動端水平固定有單晶爐機架卡板。

所述的牽引螺桿通過孔內設置有軸承，軸承的內圈與牽引螺桿固定，軸承的外圈與牽引螺桿通過孔內壁固定。

所述的前條形凸臺的上端面沿水平方向設置有第一滑槽，前移動塊的下端面沿水平方向設置有第一滑塊，第一滑塊設置于第一滑槽內；后條形凸臺的上端面沿水平方向設置有第二滑槽，前移動塊的下端面沿水平方向設置有第二滑塊，第二滑塊設置于第二滑槽內。

所述的固定座底板上設置有機架水平度調節裝置固定孔，機架水平度調節裝置利用螺栓通過機架水平度調節裝置固定孔與框體底板連接。

本實用新型在使用時，單晶爐機架架設在回字形金屬框體上表面，分別設置在回字形容納空間的四角的四個機架水平度調節裝置的上部移動座將起到受力承重的作用，當單晶爐機架發生形變導致單晶爐水平度失準時，首先單獨控制頂升機構進行水平度調整。頂升機構的活動端設置的單晶爐機架卡板將托舉單晶爐機架使其達到標準水平度，然后再調節對應的機架水平度調節裝置。通過旋轉對應的機架水平度調節裝置中的牽引螺桿，帶動上部移動座運動，使得上部移動座的上端面水平高度升高并與調整后的單晶爐機架地面頂緊，然后取消頂升機構頂升即可。本實用新型中機架水平度調節裝置承重大，工作穩定，調節精度高，能夠快速、無損且省力地進行單晶爐機架水平調節。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的俯視結構示意圖；

圖3為機架水平度調節裝置的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和實施例對本實用新型作以詳細的描述：