[實(shí)用新型]一種熱壓轉(zhuǎn)移的納米石墨烯材料薄膜

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720015467.2
• 申請(qǐng)日: 2017-01-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207256990U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱立凡;邱啟東
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海增華電子科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B32B9/00
• 分類(lèi)號(hào): B32B9/00;B32B9/04;B32B15/04;B32B15/08;B32B17/06;B32B17/10;B32B27/06;B32B7/08;B32B33/00
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• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種熱壓轉(zhuǎn)移的納米石墨烯材料薄膜，其特征在于：具有復(fù)合層結(jié)構(gòu)，依次包括第一基板(1)、第二基板(2)，所述第一基板(1)與第二基板(2)的之間具有納米石墨烯材料薄膜(3)，并通過(guò)升溫與加壓的作用。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱壓轉(zhuǎn)移的納米石墨烯材料薄膜，其特征在于：所述納米石墨烯材料薄膜(3)間接或直接沉積于第一基板(1)，亦或整合于單一電子元件或電子元件陣列，并利用該納米石墨烯材料薄膜(3)作導(dǎo)電或?qū)釋印?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種熱壓轉(zhuǎn)移的納米石墨烯材料薄膜，其特征在于：所述納米石墨烯材料可以是巴克球、C-60、石墨烯、納米碳管、納米金屬線(xiàn)、半導(dǎo)體、金屬氧化物等任一徑向在納米等級(jí)的材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種熱壓轉(zhuǎn)移的納米石墨烯材料薄膜，其特征在于：所述沉積是真空抽濾、旋涂、噴涂、超音波噴涂、網(wǎng)印、電泳、轉(zhuǎn)移、物理氣相沉積法、化學(xué)氣相沉積法、水熱法可在任一載具上形成薄膜的技術(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種熱壓轉(zhuǎn)移的納米石墨烯材料薄膜，其特征在于：所述薄膜厚度范圍可以是1納米至10公分。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種熱壓轉(zhuǎn)移的納米石墨烯材料薄膜，其特征在于：該納米石墨烯材料薄膜可以是整面、圖案化，亦或利用蝕刻或轉(zhuǎn)移完成圖案化的納米石墨烯材料薄膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種熱壓轉(zhuǎn)移的納米石墨烯材料薄膜，其特征在于：所述第一基板(1)和第二基板(2)是硅晶圓、半導(dǎo)體、石英、玻璃、金屬箔、塑膠、陶瓷用以承載該納米石墨烯材料薄膜的基板。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種熱壓轉(zhuǎn)移的納米石墨烯材料薄膜，其特征在于：所述升溫的溫度范圍可以是室溫至1000℃任何加熱形式所能達(dá)到的溫度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種熱壓轉(zhuǎn)移的納米石墨烯材料薄膜，其特征在于：所述的加壓范圍可以是1pa至1000T pa任何加壓形式所能達(dá)到的壓力。