[發(fā)明專(zhuān)利]氣體捕集型真空泵及其制作方法和使用方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711496186.4
• 申請(qǐng)日: 2017-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108194314A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邵文生;于志強(qiáng);高玉娟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十二研究所
• 主分類(lèi)號(hào): F04B37/02
• 分類(lèi)號(hào): F04B37/02;H01J9/385;H01J7/22
• 代理公司: 北京正理專(zhuān)利代理有限公司 11257
• 代理人: 張雪梅

本發(fā)明公開(kāi)一種氣體捕集型真空泵，包括殼體、包括多根引針的針?lè)馓沾尚局帢O組件和陽(yáng)極，該陰極組件包括兩個(gè)陰極。本發(fā)明所述技術(shù)方案通過(guò)在真空泵中設(shè)置兩個(gè)陰極，實(shí)現(xiàn)體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊、工作電壓低、無(wú)磁鐵、壽命長(zhǎng)且應(yīng)用范圍廣泛的真空泵，可以作為各種小型真空電子器件的真空維持單元。本發(fā)明進(jìn)一步提供一種氣體捕集型真空泵的制作方法和使用方法。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空電子器件領(lǐng)域。更具體地，涉及一種氣體捕集型真空泵及其制作方法和使用方法。

背景技術(shù)

真空電子器件廣泛應(yīng)用于國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防軍事等各個(gè)領(lǐng)域中，壽命是真空電子器件的重要指標(biāo)之一，而真空電子器件的壽命則取決于真空泵陰極的發(fā)射能力和真空電子器件管內(nèi)的真空度。真空電子器件由多種不同零件組成，經(jīng)過(guò)裝配、焊接、排氣等工藝過(guò)程后，必須使真空器件與排氣系統(tǒng)分離出來(lái)。在后期經(jīng)過(guò)加電老煉、測(cè)試、壽命過(guò)程中，真空電子器件中的零件經(jīng)過(guò)電子轟擊后還會(huì)有氣體釋放出來(lái)，真空電子器件內(nèi)殘存的各種有害氣體，導(dǎo)致許多性能指標(biāo)下降，甚至一開(kāi)始就無(wú)法工作，為消除這些不利影響，以保證真空電子器件處于正常工作狀態(tài)，需要真空泵在真空電子器件后期工作中維持器件真空度要求。

真空泵是用來(lái)產(chǎn)生、改善、維持真空的裝置。其分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類(lèi)型。捕集真空泵是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵。捕集真空泵中的吸氣材料有很多種(如金屬鈦、鎢、鉬、鋯、鋇等)，在一定的溫度范圍內(nèi)，對(duì)活性氣體有很好的吸附和吸收性能。在真空條件下，用加熱或電子轟擊加熱的方法，可以將這些金屬蒸發(fā)沉積在器壁上，形成一層金屬薄膜，用來(lái)對(duì)活性氣體進(jìn)行吸附。

目前用到最多的捕集真空泵是冷鈦泵，由于鈦價(jià)格便宜，且這種材料有強(qiáng)烈的吸氣能力、易于加工成形、無(wú)污染，因此冷鈦泵被廣泛應(yīng)用于真空技術(shù)中。但冷鈦泵的缺點(diǎn)是工作電壓高(需要幾千伏)、體積較大且有磁鐵，工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)，在對(duì)磁場(chǎng)有嚴(yán)格要求的真空電子器中不能使用。

因此，需要提供一種小型化、低電壓、無(wú)磁場(chǎng)、長(zhǎng)壽命的氣體捕集型真空泵及其制作方法和使用方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種至少實(shí)現(xiàn)小型化、低電壓、無(wú)磁場(chǎng)、長(zhǎng)壽命其中之一的氣體捕集型真空泵、其制作方法及使用方法。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種氣體捕集型真空泵，包括殼體、包括多根引針的針?lè)馓沾尚局帢O組件和陽(yáng)極，其中，該陰極組件包括兩個(gè)陰極。

優(yōu)選地，所述陰極組件進(jìn)一步包括用作陰極公共端的金屬桿，該金屬桿與所述兩個(gè)陰極電連接。

優(yōu)選地，所述金屬桿由難熔金屬制成。

優(yōu)選地，所述金屬桿為鉬桿，所述鉬桿通過(guò)固定在鉬桿頂端的鉬帶與陰極電連接。

優(yōu)選地，所述兩個(gè)陰極對(duì)稱(chēng)地位于所述鉬桿的兩側(cè)。

優(yōu)選地，所述針?lè)馓沾尚局庋b有四根引針，分別與兩個(gè)陰極、陽(yáng)極和陰極公共端電連接。

優(yōu)選地，所述陰極由表面燒結(jié)有電泳涂覆的氧化釔的鎢絲構(gòu)成，所述陽(yáng)極由容置在鉭容器內(nèi)經(jīng)真空熔煉的鉺構(gòu)成。

優(yōu)選地，所述殼體進(jìn)一步包括用于連接被抽器件的法蘭和用于外接真空泵的排氣管。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種如上所述氣體捕集型真空泵的制作方法，該方法包括：

對(duì)陽(yáng)極施加電壓，對(duì)兩個(gè)陰極中的一個(gè)陰極施加電壓，繪制真空泵離子流-真空度對(duì)應(yīng)曲線(xiàn)；

將該真空泵維持真空狀態(tài)封離保存。

根據(jù)本發(fā)明的再一方面，提供一種如上所述氣體捕集型真空泵的使用方法，所述使用方法包括：

該真空泵處于工作狀態(tài)時(shí)，