[發明專利]氣體捕集型真空泵及其制作方法和使用方法在審
| 申請號： | 201711496186.4 | 申請日： | 2017-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN108194314A | 公開（公告）日： | 2018-06-22 |
| 發明（設計）人： | 邵文生;于志強;高玉娟 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第十二研究所 |
| 主分類號： | F04B37/02 | 分類號： | F04B37/02;H01J9/385;H01J7/22 |
| 代理公司： | 北京正理專利代理有限公司 11257 | 代理人： | 張雪梅 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空泵 捕集型 陰極 陰極組件 陽極 電子器件 陶瓷芯柱 小型真空 真空維持 電壓低 磁鐵 殼體 引針 制作 應用 | ||
1.一種氣體捕集型真空泵，包括殼體、包括多根引針的針封陶瓷芯柱，陰極組件和陽極，其特征在于，該陰極組件包括兩個陰極。
2.如權利要求1所述的氣體捕集型真空泵，其特征在于，所述陰極組件進一步包括用作陰極公共端的金屬桿，該金屬桿與所述兩個陰極電連接。
3.如權利要求1所述的氣體捕集型真空泵，其特征在于，所述金屬桿由難熔金屬制成。
4.如權利要求1所述的氣體捕集型真空泵，其特征在于，所述金屬桿為鉬桿，所述鉬桿通過固定在鉬桿頂端的鉬帶與陰極電連接。
5.如權利要求2所述的氣體捕集型真空泵，其特征在于，所述兩個陰極對稱地位于所述鉬桿的兩側。
6.如權利要求2所述的氣體捕集型真空泵，其特征在于，所述針封陶瓷芯柱封裝有四根引針，分別與兩個陰極、陽極和陰極公共端電連接。
7.如權利要求1所述氣體捕集型真空泵，其特征在于，所述陰極由表面燒結有電泳涂覆的氧化釔的鎢絲構成，所述陽極由容置在鉭容器內經真空熔煉的鉺構成。
8.如權利要求1所述氣體捕集型真空泵，其特征在于，所述殼體進一步包括用于連接被抽器件的法蘭和用于外接真空泵的排氣管。
9.如權利要求1所述的氣體捕集型真空泵的使用方法，其特征在于，所述使用方法包括：
該真空泵處于工作狀態時，
對真空泵施加陽極電壓，對兩個陰極中的一個陰極施加陰極電壓，通過測量殼體離子流監控真空泵工作狀態，
當該一個陰極失效時，對所述兩個陰極中的另一個陰極施加陰極電壓。
10.如權利要求1所述的氣體捕集型真空泵的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
對陽極施加電壓，對兩個陰極中的一個陰極施加電壓，繪制真空泵離子流-真空度對應曲線；
將該真空泵維持真空狀態封離保存。
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