[發(fā)明專利]一種原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711470141.X
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN108226572A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡易琛;楊娟玉;盧世剛;齊小鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 國聯(lián)汽車動力電池研究院有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01Q30/20
• 分類號: G01Q30/20
• 代理公司: 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 劉徐紅

1.一種原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法，其標(biāo)定步驟如下：

(1)將樣品涂布到樣品基底上；

(2)樣品基底干燥后，自上而下，依次將樣品基底與標(biāo)定銅網(wǎng)和載玻片粘接，在高倍光學(xué)顯微鏡下觀測，尋找到合適的樣品并記錄其在標(biāo)定銅網(wǎng)上的位置；

(3)在原子力顯微鏡內(nèi)置的低倍光學(xué)顯微鏡下，通過標(biāo)定銅網(wǎng)的標(biāo)示，尋找到該樣品，然后下針，得到樣品的原子力顯微鏡圖像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法，其特征在于：所述樣品基底為云母片、玻璃片、石墨、拋光硅片、二氧化硅或生物膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法，其特征在于：所述云母片是新剝離的云母片。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法，其特征在于：所述涂布為旋涂或滴涂。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法，其特征在于：所述樣品基底為透明樣品基底。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法，其特征在于：所述粘接為液體膠粘接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法，其特征在于：所述液體膠為透明聚乙烯醇。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法，其特征在于：所述標(biāo)定銅網(wǎng)為透射電鏡標(biāo)定用的標(biāo)定銅網(wǎng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法，其特征在于：所述標(biāo)定銅網(wǎng)的孔徑為50微米-100微米。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子力顯微鏡樣品標(biāo)定方法，其特征在于：所述標(biāo)定銅網(wǎng)含有輔助標(biāo)識符，欄柵狀，中空。