[發(fā)明專利]一種金剛線切割晶體硅生產(chǎn)線及其用水系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711465611.3
• 申請(qǐng)日: 2017-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN108162215B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王珊珊;李飛龍;李鋮超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 洛陽阿特斯光伏科技有限公司;阿特斯陽光電力集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B28D7/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 鞏克棟

1.一種金剛線切割晶體硅生產(chǎn)線的用水方法，其特征在于，所述金剛線切割晶體硅生產(chǎn)線攜帶至少一臺(tái)線切機(jī)，所述線切機(jī)使用金剛石線鋸將硅棒切割為硅片，在金剛石線鋸切割過程中來自線切機(jī)儲(chǔ)水罐的循環(huán)水沖洗切割部件；沖洗切割部件后的廢水被收集，將廢水處理得到生產(chǎn)用水；所述生產(chǎn)用水經(jīng)過調(diào)配得到循環(huán)水，循環(huán)水供給給線切機(jī)使用；

所述循環(huán)水供給給線切機(jī)的方式為溢流方式，溢流量為100L/h以上；

廢水處理的過程包括依次進(jìn)行的壓濾和陶瓷膜過濾；

所述生產(chǎn)用水的COD≤1800mg/L，pH值為5.5～7.5，電導(dǎo)率指標(biāo)為≤30μs/cm，濁度≤100NTU；

所述用水方法采用的金剛線切割晶體硅生產(chǎn)線包括廢水收集系統(tǒng)和廢水處理系統(tǒng)；所述廢水處理系統(tǒng)包括依次連通的第一廢液儲(chǔ)存罐、壓濾裝置、第二廢液儲(chǔ)存罐、陶瓷膜過濾裝置、第三液體儲(chǔ)存罐；所述第三液體儲(chǔ)存罐設(shè)置檢測(cè)裝置；所述第三液體儲(chǔ)存罐通過切換閥門與第一廢液儲(chǔ)存罐、工業(yè)廢水罐和供水系統(tǒng)的生產(chǎn)用水儲(chǔ)存罐連接，切換閥門構(gòu)造為使得第三液體儲(chǔ)存罐與生產(chǎn)用水儲(chǔ)存罐、第一廢液儲(chǔ)存罐和工業(yè)廢水罐選擇性聯(lián)通；

廢水處理過程包括如下三種可選的工藝流程：

①若廢水處理后的pH值為5.5-7.5，電導(dǎo)率≤30μs/cm，濁度＜50NTU，則作為生產(chǎn)用水進(jìn)行配制得到循環(huán)水；

②若廢水處理后的pH值不在5.5-7.5范圍，電導(dǎo)率＞30μs/cm，則得到的廢水為工業(yè)廢水；

③若廢水處理后的濁度為50～100NTU，進(jìn)入第一廢液儲(chǔ)存罐重復(fù)處理直至得到符合水質(zhì)要求的生產(chǎn)用水；

循環(huán)水按重量份數(shù)包括300～400重量份稀釋水、1重量份藥劑A冷卻液、0.1重量份藥劑B消泡劑。

2.如權(quán)利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述稀釋水包括純水和/或生產(chǎn)用水。

3.如權(quán)利要求2所述的用水方法，其特征在于，所述稀釋水為純水和生產(chǎn)用水的混合水，其中純水的添加量為廢水處理過程中的水損失量。

4.如權(quán)利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述生產(chǎn)用水經(jīng)過調(diào)配得到循環(huán)水的過程為：

將所述生產(chǎn)用水分配到每臺(tái)線切機(jī)，并在所述線切機(jī)的儲(chǔ)水罐中按照循環(huán)水組成比例進(jìn)行循環(huán)水調(diào)配。

5.如權(quán)利要求1所述的用水方法，其特征在于，所述用水方法采用的金剛線切割晶體硅生產(chǎn)線包括：

金剛線切割晶體硅單元，包括至少一臺(tái)線切機(jī)，所述線切機(jī)具有一個(gè)儲(chǔ)存循環(huán)水的儲(chǔ)水罐；

廢水收集系統(tǒng)，用于收集金剛線切割晶體硅生產(chǎn)線產(chǎn)生的廢水；

廢水處理系統(tǒng)，用于將廢水收集系統(tǒng)收集的廢水處理成生產(chǎn)用水；

供水系統(tǒng)，與廢水處理系統(tǒng)的出口連接，用于將生產(chǎn)用水提供給金剛線切割晶體硅單元的線切機(jī)，所述生產(chǎn)用水由供水系統(tǒng)輸送至生產(chǎn)用水儲(chǔ)存罐；

調(diào)節(jié)系統(tǒng)，用于將生產(chǎn)用水調(diào)節(jié)組成得到循環(huán)水。

6.如權(quán)利要求5所述的用水方法，其特征在于，所述調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括純水補(bǔ)充部件，用于補(bǔ)充廢水處理系統(tǒng)損失的水；

試劑補(bǔ)充部件，用于調(diào)配循環(huán)水中的藥劑A冷卻液和藥劑B消泡劑。

7.如權(quán)利要求6所述的用水方法，其特征在于，沿水流方向，所述試劑補(bǔ)充部件設(shè)置于線切機(jī)的儲(chǔ)水罐上游，包括管路混合器、第一藥劑罐、第二藥劑罐，所述管路混合器具有3個(gè)進(jìn)口，分別連接第一藥劑罐、第二藥劑罐和供水系統(tǒng)，以及1個(gè)出口連接生產(chǎn)用水儲(chǔ)存罐。

8.如權(quán)利要求6所述的用水方法，其特征在于，所述純水補(bǔ)充部件設(shè)置于廢水處理系統(tǒng)與金剛線切割晶體硅單元之間的管路上。