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[發明專利]一種具有濕度傳感特性的紙襯底RFID柔性電子標簽的制備方法在審

專利信息
申請號: 201711460622.2 申請日: 2017-12-28
公開(公告)號: CN108182465A 公開(公告)日: 2018-06-19
發明(設計)人: 王文強;黃淳;張健;何埡芹;朱旦榮 申請(專利權)人: 華東師范大學
主分類號: G06K19/02 分類號: G06K19/02;G06K19/07
代理公司: 上海藍迪專利商標事務所(普通合伙) 31215 代理人: 徐筱梅;張翔
地址: 200241 *** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 襯底 傳感特性 柔性電子 紙襯 紙質 標簽 大規模制造 濕度傳感器 工藝制造 加熱固化 聚酰胺酸 天然的 無電鍍 光刻 藍膜 旋涂 銀層 銀法 制備 封裝 固化 加熱 制作 芯片 敏感 生長
【權利要求書】:

1.一種具有濕度傳感特性的紙襯底RFID柔性電子標簽的制備方法,其特征在于,該方法包括以下具體步驟:

步驟1:選擇玻璃載片,用酒精清洗,并用去離子水沖洗烘干;將紙質襯底平整的粘附在清洗干凈的玻璃載片上;利用甩膠機旋涂一層聚酰胺酸置于紙質襯底上;將所得旋涂后的紙質襯底置于60-100℃的加熱臺上,恒溫加熱40-60分鐘使聚酰胺酸固化,然后置于室溫下降至室溫,甩膠固化加降溫重復三次;將降溫之后所得到的紙質襯底通過無電鍍化學法生長銀層;將生長有銀層的紙質襯底浸泡在0.2mol/L的硝酸銀溶液中10-15分鐘,再用去離子水沖洗,并置于濃度為8 ~10mmol/L的還原劑中,使之析出銀層;在所得銀層上平整的貼附一層藍膜,在藍膜上附上留有芯片接口天線圖形的掩膜板進行掩膜光刻;光刻之后顯影去掉天線圖形以外的藍膜;再將所得的襯底刻蝕,刻蝕未被藍膜覆蓋的銀層;將刻蝕所得的襯底進行脫模,得到紙質襯底上的銀層天線;

步驟2:在步驟1得到的銀層天線預留接口處接入芯片;得到裸露的紙襯底RFID柔性電子標簽;

步驟3:將裸露的紙襯底RFID柔性電子標簽進行封裝,得到所述具有濕度傳感特性的紙襯底RFID柔性電子標簽;其中:

所述掩膜光刻采用UV法進行;

所述顯影液為pH=12的氫氧化鈉溶液;

所述刻蝕劑為0.1~0.5mol/L的氯化鉀溶液;

所述脫模溶液是丙酮;

所述封裝采用納米防水劑;

所述接入芯片為符合ISO18000-6C標準和EPC國際組織Gen-2電子標簽標準的超大規模集成電路芯片。

2.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所制得的具有濕度傳感特性的紙襯底RFID柔性電子標簽的通信頻率為860-960兆赫茲。

3.根據權利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述還原劑為雙氧水或硼氫化鈉溶液。

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