[發明專利]一種靶材配套聚焦環的校圓工裝

在審

• 申請號: 201711456243.6
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN107983801A
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發明（設計）人: 李玉鵬;王紹帥;薛宏宇;于海洋;王莊;徐國進;陳明;萬小勇;丁照崇
• 申請（專利權）人: 有研億金新材料有限公司
• 主分類號: B21D3/14
• 分類號: B21D3/14;B21D37/10;B21D45/08
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司11246
• 代理人: 黃家俊

技術領域

本發明涉及濺射技術領域，具體涉及一種靶材配套聚焦環的校圓工裝。

背景技術

20世紀90年代以來，隨著電子設備市場的高速發展，高純濺射靶材的需求量日益增大以及靶材市場規模日益擴大，靶材行業的發展呈現高速增長的勢頭。隨著國產濺射靶材的技術成熟，尤其是國產濺射靶材具備較高的性價比優勢，并且符合濺射靶材國產化的政策導向，我國濺射靶材的市場規模進一步擴大，在全球市場中獲得更多客戶的認可，市場份額進一步提高，總的來說，靶材行業前景廣闊。因此到目前位置，靶材的使用量十分龐大，而靶材配套聚焦環作為靶材的一種，用量也十分的巨大。

而靶材配套聚焦環在生產加工的過程中，涉及到的工序繁多，加工難度較大。在卷圓工序完成之后，因加工應力變形從而導致靶材配套聚焦環圓度較差。靶材配套聚焦環的形狀與在使用過程中的形狀不一致，如果不在安裝使用前提前校圓，達到與使用情況一致的前提下，那么在使用安裝的過程中就需要借助外力進行安裝，在接觸外力的情況下，靶材配套聚焦環內部會產生一定的應力。因此，如果靶材配套聚焦環圓度比較差的話會造成以下幾個問題：

1.客戶安裝使用不便：因為在未校圓的前提下，產品的形狀與安裝使用時的形狀不能達到一致，客戶如果不借助外力的情況下不能順利安裝調試，借助外力安裝使用，在使用完畢時仍然不方便拆卸，因此給客戶在安裝使用上帶來了眾多的不便。

2.在使用過程中，如果圓度較差，安裝過程中因為借助外力導致靶材內部存在一定的應力，當溫度達到200-300℃時，發生應力釋放，導致靶材在使用過程中發生變形，從而導致固定產品安裝的Pin松動，以致于靶材配套聚焦環的安裝發生松動，靶材配套聚焦環的松動可能導致某些部位接觸產生問題，從而引發磁場發生改變，改變鈦離子的運動軌跡，從而導致了產品的報廢。

3.在如圖1所示純鈦濺射的使用過程中，因為圓度較差導致在使用過程中消耗掉的部分不均勻，在氮化鈦濺射過程中，導致吸附不均勻從而導致環形靶材配套聚焦環失去平衡。失去平衡之后，環形靶材中間的磁場會發生變化，會影響鈦離子的運動軌跡，也會使靶材配套聚焦環內部應力不均勻，從而加速應力釋放的時間，從而導致安裝松動，使產品報廢。

因此，靶材配套聚焦環的圓度在靶材使用過程中起著非常重要的作用，圓度較差輕者影響靶材的使用壽命，重者可直接導致產品的報廢。所以，設計一個靶材配套聚焦環的校圓工裝是十分有必要的。

發明內容

針對現有技術中的問題，本發明提供一種靶材配套聚焦環的校圓工裝，其特征在于，包括：模柄、凸模、凹模和彈性裝置，其中模柄、尼龍材質的凸模和尼龍材質的凹模三者的軸線共線；模柄安裝于凸模的頂部；凸模從上而下由軸線重合的凸模圓板、凸模校圓柱和凸模定心柱一體構成，凹模從外至內由軸線共線的凹模外空心圓柱和凹模內空心圓柱一體構成，沿凹模內空心圓柱外徑的頂面周向均勻豎直開有4-6個彈性裝置安裝槽，且彈性裝置安裝槽并不穿透凹模內空心圓柱的底面；

彈性裝置由推件塊和強力彈簧組成，其中強力彈簧的下端與彈性裝置安裝槽的槽底固接，強力彈簧的上端安裝有尼龍材質的推件塊；推件塊豎直安裝于彈性裝置安裝槽內；

進行校圓工作時，靶材配套聚焦環位于凸模和凹模所圍成的環狀空間中，凸模與凹模間的配合確保在校圓的完整流程中，靶材配套聚焦環表面的花紋不被碰傷。

所述凸模位于所述凹模的上方。

所述凸模定心柱的底面邊緣倒有圓角，凸模校圓柱的底面邊緣倒有圓角。

所述凹模外空心圓柱高出凹模內空心圓柱的長度與凸模校圓柱的長度相等；凸模校圓柱的直徑等于靶材配套聚焦環的內徑；凹模外空心圓柱的內徑等于靶材配套聚焦環的外徑；凹模內空心圓柱的內徑等于凸模定心柱的直徑。

所述推件塊的外形等于彈性裝置安裝槽。

所述推件塊高度為35-45mm，安裝后的彈性裝置在自然情況下，其推件塊的頂端高出凹模內空心圓柱的頂面10mm。

本發明的有益效果為：

1、實現了靶材配套聚焦環的快速校圓工序。

2、該工裝可反復多次利用，每件靶材校圓完成后，形狀大小，靶材狀態均為一致。

3、該工裝操作簡單、效率明顯，工人上手操作比較容易，校圓過程更多為機械校圓，避免了人為誤差；

4、該工裝可根據靶材生產出來了特殊情況，對保壓時間進行一個合適調整，運用靈活、方便。

5、該工裝直接提高了靶材配套聚焦環的使用壽命、用較短的時間提高了產品的質量。

附圖說明