[發明專利]一種foup盒內真空氮氣填充系統及foup盒排空氣法

有效

• 申請號: 201711455468.X
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN109969456B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 何書龍;華正雨;趙治國;邊弘曄;于大元;周昊
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: B65B31/02
• 分類號: B65B31/02
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.一種foup盒內真空氮氣填充系統，包括：2條以上基板進氣通道，吹氣置塊及基板排氣通道，其特征在于：

所述基板進氣通道設置在foup盒所在的基板上，所述基板進氣通道的一頭與氮氣氣源相通，用于氮氣的傳輸；

所述吹氣置塊與foup盒所在的基板固定連接，所述吹氣置塊的一面設有2個以上吹氣置塊進氣孔，所述吹氣置塊進氣孔分別與所述基板進氣通道相通，所述吹氣置塊的內部設有一條通氣管道，所述通氣管道上設有若干吹氣置塊吹氣孔，所述吹氣置塊吹氣孔與foup盒內相通且所述吹氣置塊吹氣孔的吹氣方向與foup盒所在的基板的基板面之間的夾角為40°-50°；

所述基板排氣通道設置在foup盒所在的基板上，用于foup盒內的空氣的排出。

2.根據權利要求1所述的foup盒內真空氮氣填充系統，其特征在于，所述基板進氣通道用于氮氣氣源接入的一頭還連接有氮氣充氣彎頭。

3.根據權利要求1所述的foup盒內真空氮氣填充系統，其特征在于，所述吹氣置塊吹氣孔與foup盒內相通且所述吹氣置塊吹氣孔的吹氣方向與foup盒所在的基板的基板面之間的夾角為45°。

4.根據權利要求1所述的foup盒內真空氮氣填充系統，其特征在于，還包括浮門封板，填充氮氣時，所述foup盒的后蓋打開，所述浮門封板和所述foup盒的內部形成一個密封空間；基板上固定有密封蓋板，所述密封蓋板與所述基板排氣通道形成一個開口空間，所述開口空間位于所述密封空間的內部。

5.根據權利要求4所述的foup盒內真空氮氣填充系統，其特征在于，所述密封蓋板上設有排氣閥，當foup盒內的空氣由基板排氣通道排出后進入所述開口空間后，再由所述排氣閥排到所述密封空間的外部。

6.根據權利要求1所述的foup盒內真空氮氣填充系統，其特征在于，還包括泄壓閥，所述泄壓閥設置在foup盒所在的基板上，用于排出多余的氮氣，保持foup盒恒壓。

7.根據權利要求1所述的foup盒內真空氮氣填充系統，其特征在于，所述吹氣置塊與foup盒所在的基板的側壁固定連接。

8.根據權要求1所述的foup盒內真空氮氣填充系統，其特征在于，所述吹氣置塊進氣孔的數量為2個，分別為第一吹氣置塊進氣孔和第二吹氣置塊進氣孔；所述基板進氣通道的數量為2個，分別為第一基板進氣通道和第二基板進氣通道；所述第一吹氣置塊進氣孔和所述第一基板進氣通道相通，所述第二吹氣置塊進氣孔和所述第二基板進氣通道相通。

9.一種foup盒排空氣法，其特征在于，利用權利要求1-8任一項所述的foup盒內真空氮氣填充系統，包括步驟：

S101、打開foup盒的后蓋，通過浮門封板將foup盒的內部空間密封形成一個密封空間；

S102、當氮氣氣源開始充氣，氮氣依次通過基板進氣通道、吹氣置塊進氣孔進入吹氣置塊；基板上固定有密封蓋板，所述密封蓋板與所述基板排氣通道形成一個開口空間，所述開口空間位于所述密封空間的內部；

S103、進入到吹氣置塊內的氮氣通過吹氣置塊的吹氣置塊吹氣孔向foup盒的內部傳輸氮氣，吹氣置塊吹氣孔向foup盒的內部傳輸氮氣的傳輸方向與foup盒所在的基板平面之間的夾角為40°-50°，此時，氮氣以與foup盒所在的基板的基板面之間的夾角為40°-50°的方向填充入foup盒內，從而使得foup盒內的空氣被擠壓到基板排氣通道的位置。

10.根據權利要求9所述的foup盒排空氣法，還包括步驟：

S104、當所述密封空間的氣壓過大時，通過安裝在密封蓋板上的排氣閥將空氣排到外部；和/或，當foup盒內部氣壓過大時，傳輸進foup盒內的氮氣通過泄壓閥排出。