[發(fā)明專利]一種微蝕刻液的再生循環(huán)裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711453755.7
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN109972141A
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 羅寶奎;陳永江
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州市吉池環(huán)?？萍加邢薰?/a>
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C25C1/12
• 代理公司: 北京君華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11515
• 代理人: 朱慶華

1.一種微蝕刻液的再生循環(huán)裝置，包括與微蝕刻生產(chǎn)線連通的蝕刻廢液槽以及，用于輸送再生蝕刻液至微蝕刻生產(chǎn)線的再生調(diào)配槽；所述蝕刻廢液槽與電解槽連通，所述電解槽與所述再生調(diào)配槽連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微蝕刻液的再生循環(huán)裝置，其特征在于，所述再生循環(huán)裝置的微蝕刻生產(chǎn)線、蝕刻廢液槽、電解槽及再生調(diào)配槽之間通過管道連通，并通過高壓泵開關(guān)控制。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微蝕刻液的再生循環(huán)裝置，其特征在于，所述電解槽包括陽極和陰極，所述陰極為圓柱結(jié)構(gòu)，所述圓柱結(jié)構(gòu)的中間穿過軸心固定一絕緣板。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微蝕刻液的再生循環(huán)裝置，其特征在于，所述電解槽的陰極采用不銹鋼陰極板。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微蝕刻液的再生循環(huán)裝置，其特征在于，所述不銹鋼陰極板的厚度為1-1.5mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微蝕刻液的再生循環(huán)裝置，其特征在于，所述電解槽的陽極為鈦金屬材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微蝕刻液的再生循環(huán)裝置，其特征在于，所述電解槽的陽極與陰極的半徑之比為4:1。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微蝕刻液的再生循環(huán)裝置，其特征在于，所述微蝕刻液的再生循環(huán)裝置還包括感應(yīng)器和PLC控制器，所述感應(yīng)器位于微蝕刻生產(chǎn)線上，將信號輸送至所述PLC控制器，所述PLC控制器通過控制高壓泵控制電解回收及再生調(diào)配槽。