[發(fā)明專利]恒流器件及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711442368.3
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN108183128A
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 喬明;肖家木;賴春蘭;李路;方冬;張波
• 申請（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號: H01L29/06
• 分類號: H01L29/06;H01L29/73;H01L27/082
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51232
• 代理人: 敖歡;葛啟函

1.一種恒流器件，包括元胞區(qū)和終端區(qū)兩個部分，所述元胞區(qū)包括多個結(jié)構(gòu)相同并依次連接的元胞，每個元胞包括P型摻雜襯底(2)、N型外延層(3)，位于N型外延層(3)之中的擴散P型阱區(qū)(4)，所述擴散P型阱區(qū)(4)為兩個并分別位于每個元胞的兩端，位于擴散P型阱區(qū)(4)之中的第一P型重摻雜區(qū)(5)和N型重摻雜區(qū)(7)，第一P型重摻雜區(qū)(5)位于N型重摻雜區(qū)(7)的兩側(cè)，N型外延層(3)和擴散P型阱區(qū)(4)上表面設(shè)有氧化層(10)，擴散P型阱區(qū)(4)上表面與氧化層(10)之間設(shè)有N型耗盡型溝道區(qū)(6)，元胞區(qū)還包括覆蓋整個元胞上表面的金屬陰極(9)、位于P型摻雜襯底(2)下表面的第二P型重摻雜區(qū)(51)、位于第二P型重摻雜區(qū)(51)下表面的金屬陽極(8)，所述第一P型重摻雜區(qū)(5)、N型重摻雜區(qū)(7)和金屬陰極(9)形成歐姆接觸，所述第二P型重摻雜區(qū)(51)和金屬陽極(8)形成歐姆接觸，其特征在于：所述終端區(qū)包括經(jīng)熱過程形成的槽內(nèi)氧化層(13)，位于N型外延層(3)上表面的厚場氧層(11)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的恒流器件，其特征在于：所述終端區(qū)包括槽注入后經(jīng)熱過程推結(jié)在槽的四周圍形成的P型摻雜區(qū)(21)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的恒流器件，其特征在于：終端區(qū)還包括位于元胞區(qū)內(nèi)部邊緣的P型摻雜ring區(qū)(41)，整個器件最外圍的擴散P型阱區(qū)(4)和P型摻雜ring區(qū)(41)連成一體。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的恒流器件，其特征在于：終端區(qū)還包括位于元胞區(qū)內(nèi)部邊緣的P型摻雜ring區(qū)(41)，整個器件最外圍的擴散P型阱區(qū)(4)和P型摻雜ring區(qū)(41)連成一體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的恒流器件，其特征在于：所述恒流器件中各摻雜類型相應(yīng)變?yōu)橄喾吹膿诫s，即P型摻雜變?yōu)镹型摻雜的同時，N型摻雜變?yōu)镻型摻雜。

6.權(quán)利要求1所述的恒流器件的制造方法，其特征在于：所述恒流器件通過在終端區(qū)引入槽，利用槽內(nèi)氧化層耐壓，使得元胞區(qū)與器件邊緣缺陷通過介質(zhì)相隔離，實現(xiàn)正向恒流、反向耐高壓。

7.權(quán)利要求2所述的恒流器件的制造方法，其特征在于：所述恒流器件通過在終端區(qū)引入槽，并對槽的四周圍進行P型雜質(zhì)注入形成的P型摻雜區(qū)(21)，使得元胞區(qū)與器件邊緣缺陷通過PN結(jié)隔離的方式相隔離，實現(xiàn)正向恒流、反向耐高壓。