[發明專利]除靜電裝置及除靜電方法

有效

• 申請號: 201711420309.6
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN108260266B
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 田中孝佳;阿野誠士
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: H05F3/00
• 分類號: H05F3/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇;董雅會

1.一種除靜電裝置，對帶靜電的基板進行降低帶靜電量的處理，其特征在于，具有：

基板保持機構，保持基板；以及

紫外線照射機構，能夠對基板的多個區域以所述多個區域彼此間互不相同并與多個區域相應的照射量照射紫外線，所述多個區域是對基板的主面進行劃分而形成的，

控制部，決定除去所述基板的多個區域內的各位置的電荷所需的紫外線的需要照射量，

所述控制部控制來自所述紫外線照射機構的紫外線對所述多個區域的照射量。

2.根據權利要求1所述的除靜電裝置，其特征在于，

從所述紫外線照射機構對所述多個區域照射的紫外線的照射量能夠改變，

所述除靜電裝置還具有：

多個表面電位測量機構，分別測量所述多個區域內的表面電位；

所述控制部根據由所述多個表面電位測量機構測量的表面電位，控制所述多個區域各自的照射量。

3.根據權利要求1或2所述的除靜電裝置，其特征在于，

所述紫外線照射機構具有多個單位照射機構，

所述多個單位照射機構分別對所述多個區域照射紫外線。

4.根據權利要求2所述的除靜電裝置，其特征在于，

所述紫外線照射機構具有多個單位照射機構，

所述多個單位照射機構分別對所述多個區域照射紫外線，

在所述紫外線照射機構照射紫外線的過程中，所述多個表面電位測量機構測量基板的主面的表面電位，

所述控制部對由所述多個表面電位測量機構中的一個表面電位測量機構測量的所述多個區域中的一個區域的表面電位的絕對值是否低于基準值進行判斷，

所述紫外線控制機構在判斷為所述多個區域中的所述一個區域的表面電位的絕對值低于所述基準值時，使所述多個單位照射機構中的與所述多個區域中的所述一個區域對應的單位照射機構停止照射。

5.根據權利要求3所述的除靜電裝置，其特征在于，

所述多個單位照射機構呈直徑互不相同的圓弧狀或環狀的形狀，并且所述多個單位照射機構配置為同心圓狀。

6.根據權利要求3所述的除靜電裝置，其特征在于，

該除靜電裝置還具有旋轉機構，該旋轉機構使所述基板保持機構以與基板的主面垂直的軸作為旋轉軸進行旋轉，

所述多個單位照射機構具有沿著與基板的主面平行的第一方向延伸的棒狀的形狀，并且沿與基板的主面平行且與所述第一方向垂直的第二方向排列配置。

7.根據權利要求3所述的除靜電裝置，其特征在于，

所述控制部對所述多個單位照射機構中的每個單位照射機構照射紫外線及停止照射進行切換，來控制對所述多個區域中的每個區域的紫外線的照射量。

8.根據權利要求3所述的除靜電裝置，其特征在于，所述控制部控制所述多個單位照射機構，來控制從所述多個單位照射機構中的每個單位照射機構照射的紫外線的強度。

9.根據權利要求2所述的除靜電裝置，其特征在于，該除靜電裝置還具有：

第一移動機構，使所述紫外線照射機構及所述基板保持機構在沿基板的主面的方向上相對移動；

旋轉機構，使所述基板保持機構以與基板的主面垂直的軸作為旋轉軸進行旋轉，

所述控制部控制所述第一移動機構，基于由所述多個表面電位測量機構測量的表面電位，控制表示所述紫外線照射機構與所述基板保持機構之間的相對的位置和所述紫外線照射機構與所述基板保持機構之間的相對的移動速度的關系的圖案。

10.根據權利要求9所述的除靜電裝置，其特征在于，該除靜電裝置還具有第二移動機構，該第二移動機構使所述多個表面電位測量機構和所述基板保持機構在所述多個表面電位測量機構與基板的主面相對的位置和所述多個表面電位測量機構不與基板的主面相對的位置之間相對移動。