[發明專利]一種提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法

在審

• 申請號: 201711409405.0
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN108103505A
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 宋余斌
• 申請（專利權）人: 余姚市震達精工機械有限公司
• 主分類號: C23C28/00
• 分類號: C23C28/00;C23F17/00;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/32;C23C14/06
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法，其特征在于：所述處理方法包含以下步驟：

1）清洗；

2）烘干；

3）模具升溫；

4）涂層：采用涂層設備在清洗烘干后的模具表面涂覆多層含Ti、Si、Al、Zr、Cr、B的硬質涂層；

5）模具降溫；

6）淬火；

7）拋光。

2.如權利要求1所述的提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法，其特征在于，所述步驟1）中清洗為超聲清洗。

3.如權利要求1所述的提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法，其特征在于，所述步驟3）中升溫速率為2-4℃/min。

4.如權利要求1或3所述的提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法，其特征在于，所述步驟3）中模具處于氫氣和氮氣的混合氣氛中。

5.如權利要求1所述的提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法，其特征在于，所述步驟4）中涂層設備采用PVD、CVD或PCVD涂層設備中的一種。

6.如權利要求1或5所述的提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法，其特征在于，PVD涂層的沉積溫度為200-600℃，沉積壓力1×10-5-1×10-2Pa，涂層厚度2-8μm，涂層為TiN、TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、TiSiN、TiAlSiN、CrAlN、AlCrSiN涂層中的幾種疊加。

7.如權利要求1或5所述的提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法，其特征在于，CVD涂層的沉積溫度為800-1050℃，沉積壓力5000-1×105Pa，涂層厚度3-20μm，涂層為TiN、TiC、HT-TiCN、MT-TiCN、Al2O3、TiBN涂層中的幾種疊加。

8.如權利要求1或5所述的提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法，其特征在于，PCVD涂層的沉積溫度為300-650℃，沉積壓力200-5000Pa，涂層厚度2-8μm，涂層為TiN、TiC、TiCN、TiSiN、TiBN涂層中的幾種疊加。

9.如權利要求1所述的提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法，其特征在于，所述步驟5）中模具先保持沉積壓力不變，降溫至沉積溫度的一半，再恢復常壓，降溫至100℃以下。

10.如權利要求1所述的提高冷鐓模具壽命的PVD/CVD/PCVD涂層處理方法，其特征在于，所述步驟5）中模具處于氫氣和氬氣的混合氣氛中。