[發(fā)明專利]光阻過濾器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711385436.7
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN108176108A
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許峯嘉;王錚
• 申請（專利權(quán)）人: 新陽硅密（上海）半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號: B01D29/33
• 分類號: B01D29/33;B01D29/58;B01D35/30
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所 31259
• 代理人: 李強(qiáng)

本發(fā)明公開了一種光阻過濾器。所述光阻過濾器包括槽體、槽蓋及過濾桶。所述槽體具有容納槽。所述槽蓋設(shè)置在所述槽體的頂端，并密封所述容納槽地設(shè)置。所述過濾桶容置在所述容納槽內(nèi)。所述過濾桶與所述槽體和/或所述槽蓋連接設(shè)置。所述過濾桶具有容腔。所述過濾桶設(shè)置有多個(gè)過濾通孔。所述過濾通孔連通所述容腔與所述容納槽地設(shè)置。所述光阻過濾器結(jié)構(gòu)精簡且過濾性能佳。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，特別是一種光阻過濾器。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體加工處理過程中，往往需要采用諸如光阻的光敏材料。光阻，亦稱光阻劑，可以應(yīng)用于很多工業(yè)制程中。在對半導(dǎo)體部件進(jìn)行處理后，往往需要將相應(yīng)的光阻進(jìn)行剝離。一般地，在進(jìn)行光阻剝離過程中會產(chǎn)生體積不一、無法溶解在化學(xué)處理液中的塊狀光阻。塊狀光阻的積累容易導(dǎo)致循環(huán)管路堵塞。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的之一是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種過濾性能佳的光阻過濾器。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

本發(fā)明提供一種光阻過濾器。所述光阻過濾器包括槽體、槽蓋及過濾桶。所述槽體具有容納槽。所述槽蓋設(shè)置在所述槽體的頂端，并密封所述容納槽地設(shè)置。所述過濾桶容置在所述容納槽內(nèi)。所述過濾桶與所述槽體和/或所述槽蓋連接設(shè)置。所述過濾桶具有容腔。所述過濾桶設(shè)置有多個(gè)過濾通孔。所述過濾通孔連通所述容腔與所述容納槽地設(shè)置。

優(yōu)選地，所述的光阻過濾器還包括第二過濾桶。所述第二過濾桶設(shè)置在所述過濾桶的容腔內(nèi)。所述第二過濾桶與所述槽體和/或所述槽蓋連接設(shè)置。所述第二過濾桶具有第二容腔。所述過濾桶設(shè)置有多個(gè)第二過濾通孔。所述第二過濾通孔連通所述第二容腔與所述容腔地設(shè)置。

優(yōu)選地，所述第二過濾通孔的密度大于所述過濾通孔的密度。

優(yōu)選地，所述第二過濾桶的頂端可拆卸地設(shè)置在槽蓋的底端。

優(yōu)選地，所述槽體的側(cè)壁上設(shè)置有注液通孔。所述注液通孔與所述容納槽連通，以可導(dǎo)入?yún)㈦s有光阻的處理液。所述槽蓋設(shè)置有出液通孔。所述出液通孔與所述第二容腔連通，以可導(dǎo)出濾除了光阻的處理液。

優(yōu)選地，所述槽體的底壁上設(shè)置有排放通孔。所述排放通孔與所述容納槽連通，以可排出光阻。

優(yōu)選地，所述槽蓋設(shè)置有減壓部，以可減輕所述容納槽內(nèi)的氣體壓強(qiáng)。

優(yōu)選地，所述的光阻過濾器還包括液位傳感器。所述液位傳感器容置在所述容納槽內(nèi)，以可感測所述容納槽內(nèi)的處理液高度。

優(yōu)選地，所述過濾桶的頂端可拆卸地設(shè)置在所述槽蓋的底端。

優(yōu)選地，所述的光阻過濾器還包括過濾器花籃。所述過濾器花籃具有容置腔。所述過濾器花籃設(shè)置在所述容納槽內(nèi)。所述過濾桶設(shè)置在所述過濾器花籃的容置腔內(nèi)。

優(yōu)選地，在沿所述槽體的徑向上，所述過濾器花籃與所述槽體之間的間距小于該過濾器花籃與所述過濾桶之間的間距。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明光阻過濾器。所述光阻過濾器通過過濾桶與槽體的配合，替代了傳統(tǒng)的過濾網(wǎng)，不僅整體結(jié)構(gòu)較為簡單、操作便利且過濾性能佳。進(jìn)一步地，在所述過濾桶內(nèi)再設(shè)置第二過濾桶實(shí)現(xiàn)再一次過濾，從而進(jìn)一步提升過濾性能。

附圖說明

圖1為本發(fā)明提供的光阻過濾器的俯視示意圖。

圖2為圖1的光阻過濾器的立體剖視圖。

圖3為圖1的光阻過濾器沿E-E線的剖視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述：