[發明專利]光阻過濾器在審
| 申請號： | 201711385436.7 | 申請日： | 2017-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN108176108A | 公開（公告）日： | 2018-06-19 |
| 發明（設計）人： | 許峯嘉;王錚 | 申請（專利權）人： | 新陽硅密（上海）半導體技術有限公司 |
| 主分類號： | B01D29/33 | 分類號： | B01D29/33;B01D29/58;B01D35/30 |
| 代理公司： | 上海脫穎律師事務所 31259 | 代理人： | 李強 |
| 地址： | 201616 上海市松*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 過濾桶 光阻過濾器 容納槽 槽體 槽蓋 過濾通孔 容腔 過濾性能 連接設置 容置 連通 密封 | ||
1.一種光阻過濾器，其特征在于，包括：
槽體，所述槽體具有容納槽；
槽蓋，所述槽蓋設置在所述槽體的頂端，并密封所述容納槽地設置；及
過濾桶，所述過濾桶容置在所述容納槽內；所述過濾桶與所述槽體和/或所述槽蓋連接設置；
所述過濾桶具有容腔；所述過濾桶設置有多個過濾通孔；所述過濾通孔連通所述容腔與所述容納槽地設置。
2.根據權利要求1所述的光阻過濾器，其特征在于，還包括：
第二過濾桶，所述第二過濾桶設置在所述過濾桶的容腔內；所述第二過濾桶與所述槽體和/或所述槽蓋連接設置；
所述第二過濾桶具有第二容腔；所述過濾桶設置有多個第二過濾通孔；
所述第二過濾通孔連通所述第二容腔與所述容腔地設置。
3.根據權利要求2所述的光阻過濾器，其特征在于：
所述第二過濾通孔的密度大于所述過濾通孔的密度。
4.根據權利要求2所述的光阻過濾器，其特征在于：
所述第二過濾桶的頂端可拆卸地設置在槽蓋的底端。
5.根據權利要求2所述的光阻過濾器，其特征在于：
所述槽體的側壁上設置有注液通孔；所述注液通孔與所述容納槽連通，以可導入參雜有光阻的處理液；
所述槽蓋設置有出液通孔；所述出液通孔與所述第二容腔連通，以可導出濾除了光阻的處理液。
6.根據權利要求1所述的光阻過濾器，其特征在于：
所述槽體的底壁上設置有排放通孔；所述排放通孔與所述容納槽連通，以可排出光阻。
7.根據權利要求1所述的光阻過濾器，其特征在于：
所述槽蓋設置有減壓部，以可減輕所述容納槽內的氣體壓強。
8.根據權利要求1所述的光阻過濾器，其特征在于，還包括：
液位傳感器，所述液位傳感器容置在所述容納槽內，以可感測所述容納槽內的處理液高度。
9.根據權利要求1所述的光阻過濾器，其特征在于：
所述過濾桶的頂端可拆卸地設置在所述槽蓋的底端。
10.根據權利要求1所述的光阻過濾器，其特征在于，還包括：
過濾器花籃，所述過濾器花籃具有容置腔；
所述過濾器花籃設置在所述容納槽內；
所述過濾桶設置在所述過濾器花籃的容置腔內。
11.根據權利要求10所述的光阻過濾器，其特征在于：
在沿所述槽體的徑向上，所述過濾器花籃與所述槽體之間的間距小于該過濾器花籃與所述過濾桶之間的間距。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于新陽硅密（上海）半導體技術有限公司，未經新陽硅密（上海）半導體技術有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201711385436.7/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：反沖洗過濾芯
- 下一篇：一種廢液收集系統、過濾器及其安裝與拆除方法
