[發明專利]全壓力微小泄漏精密測量系統在審
| 申請號： | 201711382223.9 | 申請日： | 2017-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN107991033A | 公開（公告）日： | 2018-05-04 |
| 發明（設計）人： | 劉波;丁立莉;劉卿 | 申請（專利權）人： | 西安航天計量測試研究所 |
| 主分類號： | G01M3/26 | 分類號： | G01M3/26;G01M3/28;G01M3/34;G01M3/32 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司61211 | 代理人： | 汪海艷 |
| 地址： | 710100 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓力 微小 泄漏 精密 測量 系統 | ||
1.全壓力微小泄漏精密測量系統，其特征在于：包括定容室(3)、高精度差壓規(5)、儀表控制單元(6)、配氣室(4)、真空泵(7)；
所述定容室(3)通過管路、球閥V4(11)與配氣室(4)連接；
所述高精度差壓規(5)通過管路并聯在球閥V4(11)的進口端和出口端；高精度差壓規(5)的進口端與出口端分別設有截止閥V2(9)與截止閥V3(10)；
所述儀表控制單元(6)與高精度差壓規(5)連接；
所述真空泵(7)通過管路、三通密封閥V5(12)與定容室(3)和配氣室(4)連接；
被測件(2)通過管路、截止閥V1(8)與定容室(3)連接。
2.根據權利要求1所述的全壓力微小泄漏精密測量系統，其特征在于：還包括計時器(13)，用于測量被測件(2)泄漏時間。
3.根據權利要求2所述的全壓力微小泄漏精密測量系統，其特征在于：還包括與被測件(2)連接的氣源(1)。
4.根據權利要求3所述的全壓力微小泄漏精密測量系統，其特征在于：各連接處均設有連接頭，連接頭選取螺紋卡套連接，端面設密封件，密封件采用鎳合金墊片。
5.根據權利要求4所述的全壓力微小泄漏精密測量系統，其特征在于：全部管路均采用316不銹鋼材質。
6.根據權利要求5所述的全壓力微小泄漏精密測量系統，其特征在于：截止閥V1(8)、截止閥V2(9)、截止閥V3(10)、球閥V4(11)、三通密封閥V5(12)的漏氣率均小于10-9Pa.m3/s。
7.根據權利要求6所述的全壓力微小泄漏精密測量系統，其特征在于：所述定容室(3)及配氣室(4)的材質為高純度不銹鋼，容積均為0.95-1.05L，漏氣率小于10-10Pa.m3/s。
8.根據權利要求7所述的全壓力微小泄漏精密測量系統，其特征在于：所述高精度差壓規(5)的測量精度優于±0.5％FS。
9.根據權利要求8所述的全壓力微小泄漏精密測量系統，其特征在于：真空泵(7)采用渦漩式干泵，抽速為2.0l/s。
10.根據權利要求9所述的全壓力微小泄漏精密測量系統，其特征在于：氣源(1)介質為干燥無雜質氣體。
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