[發(fā)明專利]一種聲表面波雙軸傾角感測結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711346349.0
• 申請日: 2017-12-15
• 公開（公告）號: CN107907103B
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發(fā)明（設計）人: 趙成;陳磊;張凱;楊義軍;王健
• 申請（專利權(quán)）人: 揚州大學
• 主分類號: G01C9/00
• 分類號: G01C9/00;B81B7/02
• 代理公司: 揚州市錦江專利事務所 32106
• 代理人: 楊秀達

1.一種聲表面波雙軸傾角感測結(jié)構(gòu)，其特征在于包括基片，在基片背面設置四個聲表面波諧振器組、分別覆蓋在四個聲表面波諧振器組上的四個壓電薄膜區(qū)，在基片正面設置四個輸入/輸出電極組、四個雙端固支懸掛電極、四個輸入信號電極、四個輸出信號電極、若干個接地電極，在基片上設置穿通基片的四個輸入/輸出金屬通孔組和若干接地金屬通孔；

四個所述聲表面波諧振器組分別為第一、第二、第三、第四聲表面波諧振器組，所述第一、第二聲表面波諧振器組相對設置于所述基片的前后部，所述第三、第四聲表面波諧振器組相對設置于所述基片的左右部；所述第一、第三聲表面波諧振器組分別包括N個橫向并行排列的聲表面波諧振器，所述第二、第四聲表面波諧振器組分別包括N-1個橫向并行排列的聲表面波諧振器；所述N為奇數(shù)；

各個聲表面波諧振器的諧振頻率從左到右按照所述第一聲表面波諧振器組的第一個聲表面波諧振器、所述第二聲表面波諧振器組的第一個聲表面波諧振器、所述第一聲表面波諧振器組的第二個聲表面波諧振器、所述第二聲表面波諧振器組的第二個聲表面波諧振器…所述第一聲表面波諧振器組的第N-1個聲表面波諧振器，所述第二聲表面波諧振器組的第N-1個聲表面波諧振器、第一聲表面波諧振器組的第N個聲表面波諧振器的順序依次遞增或依次遞減；

各個聲表面波諧振器的諧振頻率從前到后按照所述第三聲表面波諧振器組的第一個聲表面波諧振器、所述第四聲表面波諧振器組的第一個聲表面波諧振器、所述第三聲表面波諧振器組的第二個聲表面波諧振器、所述第四聲表面波諧振器組的第二個聲表面波諧振器…所述第三聲表面波諧振器組的第N-1個聲表面波諧振器、所述第四聲表面波諧振器組的第N-1個聲表面波諧振器、第三聲表面波諧振器組的第N個聲表面波諧振器的順序依次遞增或依次遞減；

四個所述輸入/輸出電極組分別為第一、第二、第三、第四輸入/輸出電極組，所述第一、第二、第三、第四輸入/輸出電極組分別設置于基片正面與所述第一、第二、第三、第四聲表面波諧振器組一一對應設置，所述第一、第二、第三、第四輸入/輸出電極組分別包括與對應的聲表面波諧振器組中的聲表面波諧振器相同數(shù)目的輸入/輸出電極對，各輸入/輸出電極對分別設有輸入電極、輸出電極；

四個輸入信號電極分別為第一、第二、第三、第四輸入信號電極；四個輸出信號電極分別為第一、第二、第三、第四輸出信號電極；所述第一、第二、第三、第四輸入/輸出電極組的各輸入電極分別匯集至第一、第二、第三、第四輸入信號電極；

四個所述雙端固支懸掛電極分別為第一、第二、第三、第四雙端固支懸掛電極，所述第一、第二、第三、第四雙端固支懸掛電極兩端分別通過固定支座固定于基片上，所述各輸入/輸出電極對的輸出電極分別作為各雙端固支懸掛電極的底電極，所述第一、第二、第三、第四雙端固支懸掛電極兩端的其中一個固定支座分別與第一、第二、第三、第四輸出信號電極相連；各所述雙端固支懸掛電極分別橫跨于各輸入/輸出電極對陣列上方，所述雙端固支懸掛電極自然下垂，其下垂點的位置依據(jù)基片的傾斜角度而定；

所述輸入/輸出金屬通孔組分別設置在各所述輸入/輸出電極組上，各個輸入/輸出金屬通孔組包含與對應的輸入/輸出電極組中的輸入/輸出電極對相同數(shù)目的輸入/輸出金屬通孔對，輸入/輸出金屬通孔對分別包含一個輸入金屬孔、一個輸出金屬孔，所述輸入金屬通孔的一端連接基片正面對應的輸入電極，另一端連接基片背面對應的聲表面波諧振器的輸入信號匯流電極，所述輸出金屬通孔的一端連接基片正面對應的輸出電極，另一端連接基片背面對應的聲表面波諧振器的輸出信號匯流電極；

所述接地電極分兩處，所述接地電極分別正對基片背面的各聲表面波諧振器兩端的短路匯流電極，各個所述接地金屬通孔一端連接基片正面對應的接地電極，另一端連接基片背面對應的聲表面波諧振器的短路匯流電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲表面波雙軸傾角感測結(jié)構(gòu)，其特征在于各聲表面波諧振器之間設有間隙，間隙為一個聲表面波諧振器的寬度；所述各輸入/輸出電極對之間的間隙為一個輸入/輸出電極對的寬度，所述各輸入/輸出電極對的寬度相同且與基片背面的聲表面波諧振器的寬度一致。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲表面波雙軸傾角感測結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二輸入/輸出電極組中的各輸入/輸出電極對依次正對第一輸入/輸出電極組中的各輸入/輸出電極對的間隙，所述第四輸入/輸出電極組中的各輸入/輸出電極對依次正對第三輸入/輸出電極組中的各輸入/輸出電極對的間隙。