[發明專利]適用于生物化學液體樣品的太赫茲無標記檢測方法和裝置

有效

• 申請號: 201711345667.5
• 申請日: 2017-12-15
• 公開（公告）號: CN108089061B
• 公開（公告）日: 2019-11-08
• 發明（設計）人: 李慧霖;彭亮;程旭升
• 申請（專利權）人: 湖南科技大學
• 主分類號: G01R27/26
• 分類號: G01R27/26
• 代理公司: 長沙智德知識產權代理事務所(普通合伙) 43207
• 代理人: 左祝安

1.一種適用于生物化學液體樣品的太赫茲無標記檢測裝置，其特征在于，包括第一部分和第二部分相對固定配合形成的裝置主體、微流管(9)和太赫茲波導探測器；第一部分與第二部分均設有硅基底(1)，所述硅基底(1)水平方向中間位置設有兩側槽道與中間槽道，垂直方向中間位置設有貫通的微流半通道(6)，側邊位置設有垂直貫通至其中一側槽道的探測器半槽(7)；所述兩側槽道與中間槽道之間分別設有耦合半孔(8)；所述第一部分和第二部分相對固定配合后，第一部分上的中間槽道與第二部分上的中間槽道相對接形成太赫茲矩形波導諧振腔，第一部分上的兩側槽道與第二部分上的兩側槽道相對接形成波導結構，第一部分上的微流半通道(6)與第二部分上的微流半通道(6)相對接形成微流通道，第一部分上的探測器半槽(7)與第二部分上的探測器半槽(7)相對接形成探測器槽；微流管(9)位于微流通道中，探測器位于探測器槽中。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述耦合半孔(8)、微流半通道(6)和探測器半槽(7)具有相同深度。

3.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述波導諧振腔、耦合孔和波導結構的內壁均鍍設有金鍍層。

4.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述第一部分和第二部分通過鍵合方式相對固定配合。

5.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置制作步驟包括：

在硅基底上鍍上一層薄的金屬膜，然后在上面甩光刻膠，用印有波導結構和波導諧振腔圖形的光掩膜版Ⅰ在紫外光下曝光，給光刻膠形成圖形，用顯影液清洗光刻膠，露出需要刻蝕的波導結構和波導諧振腔位置，然后用深反應離子刻蝕方法在硅基底上刻蝕出具有一定深度的槽道；

先在第一輪形成的槽道中填滿光刻膠，然后，在金屬層上面甩第二層薄的光刻膠，并用印有耦合孔、微流通道和探測器槽的圖形的光掩膜版Ⅱ來形成圖形，之后再用深反應離子刻蝕方法在硅基底上刻蝕出具有較淺深度的耦合半孔、微流半通道和探測器半槽，之后清除掉多余的光刻膠并進行晶圓切片；

在微流半通道處插入微流管，在探測器半槽處插入太赫茲波導探測器，并完成兩部分結構的相對固定配合，完成了整個裝置的制作流程。

6.根據權利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置的制作步驟還包括：在清除掉多余的光刻膠并進行晶圓切片步驟之后、在微流半通道處插入微流管步驟之前，在所述波導諧振腔、耦合孔和波導結構的內壁鍍金。